ACP

ACP 시리즈는 높은 흡입 용량과 정밀한 제어, 일관적인 진공 생성이 요구되는 까다로운 응용 분야를 위해 설계되었습니다.

ACP 진공 펌프의 로터와 고정자는 정밀하게 보정된 간격으로 설계되어 윤활이 필요 없는 비접촉식 작동을 보장합니다. 그 결과 오일은 물론 입자 없는 진공이 생성됩니다. 서비스 간격이 20,000~22,000시간 또는 최대 4년인 ACP 시리즈는 최소한의 유지보수만 필요합니다.

단상 및 3상 버전으로 제공되는 ACP 진공 펌프의 인버터 구동 모터는 전 세계에서 사용할 수 있는 진공 펌프로, 전 세계적으로 안정적인 흡입 용량과 일관적인 최대 진공도를 제공합니다. 모터에는 시간 측정기가 함께 제공되므로 진공 펌프의 사용 시간을 정확하게 추적할 수 있습니다. 이를 통해 계획되지 않은 고장 시간을 방지하기 위해 적시에 유지보수를 수행할 수 있습니다. 원격 작동 모드를 사용하면 RS-485 직렬 인터페이스를 통해 연결된 컴퓨터를 통해 주요 작동 매개 변수를 종합적으로 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 주요 기능으로는 진공 펌프 켜기 및 끄기, 속도 제어, 비상 종료 등이 있습니다.

ACP 시리즈에는 공냉식 시스템이 장착되어 있으며 다양한 가스 포트 옵션을 제공합니다. 여기에는 각각 특정 응용 분야에 최적화된 여러 버전이 포함되어 있습니다.

표준 SD 버전은 반도체 플라즈마 클리닝과 같은 청정 가스를 처리하는 데 적합합니다. 부식성 가스에 최적화된 G 버전은 에칭 공정에서 탁월한 성능을 발휘합니다. 응축 가능 증기용으로 설계된 CV 버전은 제약 건식 응용 분야에 적합합니다. 고가의 가스 관리 분야에서 CP, SH 및 SR 버전은 각각 헬륨 회수, 입자 가속기 및 방사선 환경을 위해 특별히 설계되었습니다.

이 시리즈의 특수 모델은 ACP 120입니다. 이 제품은 수냉식 냉각과 질소 가스 밸러스트 밸브 시스템이 통합된 것이 특징입니다. 이 설계는 부식성 및 응축성 가스에 대한 보호 기능을 강화하여 ACP 120은 유리 코팅 또는 LED/OLED 조명과 같은 응용 분야에 이상적입니다.

CE를 완벽하게 준수하고 UL/CSA 및 SEMI S2 인증을 받은 이 시리즈는 유해 물질 제한 지침(2011/65/EU), 전기 안전에 대한 IEC 60204-1 또는 기계 지침(2006/42/EG) 등의 국제 안전 및 성능 표준을 충족합니다.