静音
低噪音和振动水平，非常适合半导体制造工艺和分析仪器中对振动敏感的应用
灵活
与多种前级泵兼容，对轻质气体具有出色的压缩比
几乎免维护
采用磁悬浮轴承，无磨损部件，维护周期长
技术规格
市场和应用
车辆及运输
-
太空探索
显示器
-
物理气相沉积（PVD）
研发
-
高能物理
-
光子学研究
-
太空探索
-
超高真空
-
等离子体物理
半导体
-
LPCVD / 扩散
-
PVD
-
检验与计量
-
Si Poly etch
-
轻沉积
-
离子注入
-
PECVD
-
光刻技术
-
金属和高 K 蚀刻
-
氧化物蚀刻
-
Load lock 和 传输
-
钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
-
ALD