- Prestazioni elevate
- Affidabili ed efficienti a livello energetico
- Compatte e impilabili
- Bassa rumorosità e bassi livelli di vibrazioni
A 100/200 L
Pompe per vuoto roots multistadio
Le nostre pompe per vuoto roots multistadio A 100 L e A 200 L sono soluzioni all'avanguardia per l'industria dei semiconduttori e per processi leggeri ad alta portata.
Grazie alle loro dimensioni compatte e alle opzioni di collegamento flessibili, queste pompe possono essere facilmente integrate nei sistemi esistenti, rendendole la scelta ideale per load lock e camere di trasferimento, nonché per tutte le applicazioni non corrosive.
A 100/200 L
Vantaggi dei modelli A 100/200 L
I modelli A 100 L e A 200 L sono le nostre pompe per vuoto roots multistadio compatte e impilabili, concepite per un'installazione perfetta in sistemi sottopavimento delle fabbriche di semiconduttori. Grazie alle loro eccezionali prestazioni e all'efficienza energetica, possono processare in modo rapido ed efficiente grandi volumi di gas durante i rapidi cicli di messa in vuoto, con conseguente aumento della produttività e riduzione dei costi di esercizio rispetto alle pompe per vuoto standard della loro categoria. Ciò le rende una soluzione ideale per applicazioni ad alta portata, in particolare nei processi di produzione dei semiconduttori.
L'A 100 L offre tempi di svuotamento rapidi e interfacce opzionali per un facile controllo e monitoraggio. La versione a risparmio energetico riduce la pressione all'interno della camera di compressione, abbassando le vibrazioni, i livelli di rumore e il consumo energetico fino al 50%.
Per le applicazioni che richiedono una soluzione più potente e tempi di svuotamento più rapidi, l'A 200 L offre una maggiore capacità di aspirazione riducendo ulteriormente il consumo energetico. Con dimensioni e collegamenti identici, può facilmente sostituire l'A 100 L quando sono necessarie prestazioni più elevate, senza modifiche al sistema. Per l'A 200 L è disponibile un protocollo di comunicazione EtherCAT aggiornato, che consente la comunicazione con utensili tecnologici all'avanguardia come le apparecchiature di produzione dei semiconduttori.