Serie A4

La serie A4 è dotata di un motore estremamente efficiente a livello energetico con un variatore di velocità, che consente alle pompe per vuoto di regolare la velocità in modo flessibile per soddisfare i singoli requisiti del processo. Include anche una modalità inattiva che garantisce alla pompa per vuoto di funzionare alla velocità più bassa tra le fasi del processo e quando non è necessaria. Queste caratteristiche si traducono in un notevole risparmio di energia.

Grazie alle sofisticate funzioni di monitoraggio che sorvegliano lo stato della pompa in tempo reale, è possibile recuperare i vari parametri operativi della serie A4, come il livello di vibrazioni, la pressione e il rilevamento della condensa, con un controller manuale remoto dotato di display. Ciò consente la manutenzione preventiva e riduce i tempi di fermata.

Un'iniezione integrata di azoto caldo allo scarico delle pompe per vuoto A4 migliora la sicurezza operativa e l'efficienza e garantisce una diluizione mirata dei gas infiammabili. Le valvole di controllo flusso e pressione effettuano un monitoraggio continuo del flusso di azoto ed emettono avvertenze in caso di deviazioni. Il rischio di depositi e formazione di condensa può essere ridotto, impedendo efficacemente l'ostruzione della linea di scarico, che altrimenti potrebbe causare esplosioni.

Inoltre, le pompe per vuoto roots multistadio A4 offrono funzionalità avanzate per la regolazione della temperatura. I riscaldatori integrati mantengono queste pompe per vuoto a una temperatura definita, prevenendo la condensa e le reazioni chimiche indesiderate per garantire una qualità costante del processo. Le funzioni di sicurezza termica integrate tagliano la potenza se la temperatura del corpo della pompa per vuoto è superiore a 100 °C, evitando il surriscaldamento e potenziali danneggiamenti alla pompa per vuoto.

All'interno della famiglia di prodotti A4 sono disponibili tre diverse versioni con diverse resistenze alla corrosione:

le pompe per vuoto A4H sono realizzate su misura per processi di media intensità nel settore dei semiconduttori e dei rivestimenti, come la deposizione di film sottile per pannelli solari. Con una protezione anticorrosione di base, offrono una migliore tolleranza alle particelle, prevengono il danneggiamento dei componenti sensibili della pompa e garantiscono prestazioni robuste per gestire questi tipi di processo.

Nei processi difficili con semiconduttori, come le applicazioni di incisione di conduttori e polisilicone, la versione A4X è resistente alla corrosione e fornisce soluzioni di pompaggio a secco affidabili. Offre una protezione anticorrosione migliorata rispetto alle pompe A4H grazie a materiali speciali che proteggono i rotori dalla corrosione.

La versione A4XN è ideale per applicazioni corrosive come la deposizione chimica da vapore (CVD) o la deposizione a strato atomico (ALD). La tecnologia di rivestimento in nichel XN sviluppata da Pfeiffer protegge tutte le parti della pompa per vuoto che entrano in contatto con gas corrosivi. Ciò ne prolunga notevolmente il ciclo di vita, anche nelle applicazioni gravose.