안전
특허 받은 흡수기 설계와 결합된 영구적 화학 흡착
효율성
낮은 매질 소비, 최적화된 과립 수명
유지보수 불필요
움직이는 부품이 없어 유지보수 필요성이 매우 낮음
기술 사양
시장 & 어플리케이션
화학
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실험실 진공
의료
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실험실 진공
제약 및 생명공학
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실험실 진공
R&D
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광자 조사
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중앙 진공
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실험실 진공
반도체
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LPCVD / 확산
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스트리핑 / 애싱
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PVD
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Si Poly 에칭
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이온 이식
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PECVD
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금속 및 높은 K 에칭
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산화물 에칭
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ALD
액세서리
- 전기 화학 센서
- 예비 캐니스터
- 예비 시동 보조장치 캐니스터