신뢰성
작동 중 탄화수소가 없는 자동 센서 보정
저소음
저소음 및 진동 레벨
유지보수 불필요
조기 마모로부터 로터를 보호하는 전자기 서스펜션, 지속적인 로터 불균형 보상
기술 사양
시장 & 어플리케이션
자동차 및 운송
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우주 연구조사
화학
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실험실 진공
의료
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실험실 진공
제약 및 생명공학
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실험실 진공
R&D
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광자 조사
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우주 연구조사
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초고진공
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실험실 진공
반도체
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LPCVD / 확산
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스트리핑 / 애싱
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PVD
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검사 및 계측학
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착
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이온 이식
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PECVD
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미세가공기술
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금속 및 높은 K 에칭
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산화물 에칭
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로드 잠금 및 이동
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ALD