내구성
통합 로터 온도 측정 시스템, 전체 열 사용 범위에서 안정적인 성능 제공
저소음
특허 받은 레이저 밸런싱 기술을 통한 낮은 소음 및 진동 레벨, 진동에 민감한 응용 분야에 매우 적합
유연성
소형 분석 시스템에도 쉽게 통합 가능, 경량 및 휴대용
기술 사양
시장 & 어플리케이션
자동차 및 운송
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누출 감지 및 EoL 검사
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우주 연구조사
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3D 프린팅
배터리
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누출 감지 및 EoL 검사(마스터)
화학
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실험실 진공
수소 경제
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누출 감지 및 EoL 검사(마스터)
의료
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실험실 진공
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질량 분석계
금속 공정
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3D 프린팅
제약 및 생명공학
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실험실 진공
전력 생산
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친환경 에너지 생산
R&D
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고에너지 물리학
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광자 조사
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우주 연구조사
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초고진공
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극저온
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플라즈마 물리학
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실험실 진공
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질량 분석
냉동 및 공조 조건
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누출 감지 및 EoL 검사
과학 기기
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질량 분석
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표면 분석
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전자 현미경
반도체
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LPCVD / 확산
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스트리핑 / 애싱
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PVD
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검사 및 계측학
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착
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이온 이식
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PECVD
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미세가공기술
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금속 및 높은 K 에칭
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산화물 에칭
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로드 잠금 및 이동
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ALD
기술 가스
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병입
박막 코팅
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장식용 코팅
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실험실 코팅
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마모 방지 코팅