신뢰성
동급 최고의 하이브리드 베어링 기술, 우수한 베어링 윤활로 긴 수명 주기 보장
높은 가스 처리량
높은 흡입 용량, 다양한 보조 펌프와 호환 가능, 경량 가스에 대한 높은 압축력
고성능
최적화된 로터 형상, 향상된 가스 부하 취급
기술 사양
시장 & 어플리케이션
자동차 및 운송
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우주 연구조사
화학
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실험실 진공
의료
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실험실 진공
제약 및 생명공학
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실험실 진공
R&D
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고에너지 물리학
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우주 연구조사
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초고진공
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플라즈마 물리학
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실험실 진공
반도체
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LPCVD / 확산
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스트리핑 / 애싱
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PVD
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검사 및 계측학
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착
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이온 이식
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PECVD
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미세가공기술
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금속 및 높은 K 에칭
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산화물 에칭
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로드 잠금 및 이동
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ALD
기술 가스
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병입