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A 124-1204 H

Bombas de vacío roots multietapa

Alto rendimiento

Funcionamiento en seco y con eficiencia energética, diseño especial para aplicaciones de semiconductores y recubrimientos

Versátiles

Ajustes regulables para adaptarse a los requisitos del proceso individual

Certificadas

Certificación SEMI S2 y UL 61010

Especificaciones técnicas

Mercados y aplicaciones

Lácteos
  • Producción de queso - Cámaras de vacío para queso
  • Producción de queso: torres de queso
  • Producción de mantequilla
Pantalla
  • Deposición física de vapor (PVD)
Semiconductores
  • LPCVD / difusión
  • Desincrustación / ceniza
  • PVD
  • Inspección y metrología
  • Si Poly etch
  • Deposición ligera
  • Implantación de iones
  • PECVD
  • Metal y grabado de alta K
  • Grabado por óxido
  • bloqueo de carga/de transferencia
  • ALD
  • Recocido
Recubrimientos con película fina
  • Recubrimiento para laboratorios