A 3004
Bombas de vacío roots multietapa
Robustas
Diseño especial para procesos muy exigentes, alta tolerancia a las partículas, excelente resistencia a la corrosión
Fiables
Vida útil más larga
Alto rendimiento
La mejor relación de compresión de su clase, el consumo de energía más bajo del mercado
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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Desincrustación / ceniza
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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Cobalto, WCVD, TiN y TDMAT
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ALD
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Recocido
Solar
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Fabricación de células solares