CT-PF
Filtro de partículas
Limpias
Cumplimiento de los límites de emisión para 20 mg/Nm3 de partículas (TA-Luft)
Seguras
Eliminación segura de residuos de partículas gracias a la bolsa de recogida de polvo cerrada
Libres de mantenimiento
Limpieza automática de los elementos filtrantes durante el funcionamiento sin interrupción del proceso
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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PECVD
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Grabado por óxido
Accesorios
- Bolsa de polvo
- Elemento filtrante