UltiDry P1820/P3020
Bombas de vacío roots multietapa
Eficiencia de costes
Bajo consumo de energía, sistema de inyección de purga innovador y patentado, para reducir los requisitos de N₂ y H₂O.
Amplio rango térmico
El rango térmico más amplio del mercado, de 50 °C a 270 °C
Robustos
Vida útil prolongada en aplicaciones exigentes gracias a un nuevo e innovador diseño, mejor gestión del polvo, mayor resistencia a la corrosión, perfil térmico mejorado
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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Aplicaciones de alto caudal
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Desincrustación / ceniza
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PVD
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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bloqueo de carga/de transferencia
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Cobalto, WCVD, TiN y TDMAT
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ALD
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Recocido
Accesorios
- iN: solución de recubrimiento de níquel
- iN+ con doble barrera de sellado 3D
- Sellados resistentes a altas temperaturas y a la corrosión
- Válvula antirretorno externa
- Silenciador
- Comunicación EtherCat
- Comunicación NFC
- Versiones de alta o baja tensión
- Versiones frías, estándar y calientes