Zaktualizuj przeglądarkę.

Wygląda na to, że używasz starej wersji przeglądarki Microsoft Edge. Aby czerpać jak najwięcej ze strony internetowej Busch, zaktualizuj używaną przeglądarkę.

image_ultidry

Nowa wielostopniowa rotacyjna lobowa pompa próżniowa Źródło: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions przedstawia wielostopniowe rotacyjne lobowe pompy próżniowe UltiDry

Firma Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, członek globalnej grupy Busch Group, prezentuje nowe wielostopniowe rotacyjne lobowe pompy próżniowe UltiDry. Pompa UltiDry, zaprojektowana z myślą o wymagających zastosowaniach w branży półprzewodników, łączy w sobie odporne osiągi z wysoką efektywnością energetyczną i elastycznością procesu.

Pompy próżniowe UltiDry są odporne na działanie gazów powodujących korozję, agresywnych produktów ubocznych i dużych ilości proszków. Ich bezolejowe, wielostopniowe sprężanie zapewnia czyste, suche wytwarzanie próżni bez zanieczyszczeń, co czyni je idealnymi do procesów takich jak chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD), osadzanie z fazy gazowej (ALD) i fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD).

Opatentowany system czyszczenia i znaczne oszczędności energii

Jedną z kluczowych innowacji w pompie UltiDry jest opatentowany system wtrysku czyszczącego, opracowany w celu zabezpieczenia pompy próżniowej poprzez wypłukiwanie zanieczyszczeń, takich jak proszek. Funkcja ta zapewnia stabilne osiągi i płynną pracę, nawet w procesach intensywnie proszkowanych.

Zużycie energii jest głównym czynnikiem kosztów w fabrykach półprzewodników. Dzięki zoptymalizowanemu wielostopniowemu projektowi rotacyjnej lobowej pompy UltiDry zapewnia oszczędność energii do 87% w porównaniu z innymi pompami próżniowymi w swojej klasie. Pozwala to nie tylko zmniejszyć ślad węglowy, ale także pomaga klientom osiągnąć cele w zakresie zrównoważonego rozwoju i efektywności kosztowej.

Pompa próżniowa działa niezawodnie w szerokim zakresie temperatur od 50°C do 270°C, elastycznie dostosowując się do różnych wymagań dotyczących procesu. Dzięki temu nadaje się zarówno do procesów powlekania wrażliwych na temperaturę, jak i do zastosowań w półprzewodnikach powodujących korozję. Utrzymując stabilną pracę w zmiennych warunkach temperaturowych, UltiDry wspiera stałą jakość produktu i długą częstotliwość prac serwisowych. Połączenie powłoki odpornej na korozję, mniejszego zużycia gazu płuczącego i wysokiej efektywności energetycznej sprawia, że UltiDry jest trwałym, niewymagającym konserwacji rozwiązaniem dla wymagających środowisk produkcji.