Rodzina produktów | Technologia | Medium | Gaz utleniający |
|---|---|---|---|
CT-BW | palnik gazowy | O2 lub suche sprężone powietrze | |
CT-PW | uchwyt plazmowy | suche sprężone powietrze | |
CT-TW | nagrzewnica elektryczna | powietrze otoczenia | |
CT-TW-H | nagrzewnica elektryczna, H2 | powietrze otoczenia | |
CT-W | woda | - | |
CT-D | granulat | - | |
CT-D-E | granulat | - | |
CT-D VLC | granulat | - | |
CT-PF | filtr | - |
Innowacyjne rozwiązania na rzecz czystego środowiska
Bierzemy na siebie odpowiedzialność za zarządzanie emisjami i dostosowujemy sprawdzone procesy, takie jak spalanie zanieczyszczeń, płukanie, filtracja lub absorpcja, do konkretnych wymagań klienta.
Typy układów usuwania gazu
Obróbka termiczna gazu
Nasze różne systemy termicznego przetwarzania gazów łączą spalanie niebezpiecznych gazów w wysokiej temperaturze w komorze reakcyjnej z zaawansowanym procesem płukania na mokro w celu skutecznego usuwania gazów odpadowych i zanieczyszczeń. Zapewniają one skuteczne niszczenie niebezpiecznych związków składających się z perfluorków (PFC) przy jednoczesnym minimalizowaniu wpływu na środowisko.
Systemy te zapewniają zgodność z rygorystycznymi przepisami dotyczącymi emisji dzięki sprawdzonemu i zrównoważonemu podejściu, dzięki czemu idealnie nadają się do różnych branż, które wymagają niezawodnego oczyszczania gazów, takich jak przemysł półprzewodnikowy i przemysł chemiczny, a także badania i rozwój.
Obróbka gazu na mokro
Nasze systemy przetwarzania gazów na mokro, znane również jako skrubery mokre, skutecznie usuwają zanieczyszczenia, cząstki stałe i rozpuszczalne gazy z przemysłowych strumieni wylotowych. Dzięki absorpcji cieczy i reakcjom chemicznym te systemy oczyszczania zapewniają wysoką wydajność usuwania kwaśnych gazów, lotnych związków organicznych (LZO) i pyłów.
Dzięki mniejszemu zapotrzebowaniu na energię przetwarzanie gazów na mokro jest niezawodnym i wszechstronnym rozwiązaniem spełniającym surowe regulacje środowiskowe przy jednoczesnym zachowaniu wydajności operacyjnej.
Absorber ze złożem suchym
Innowacyjna technologia absorpcji ze złożem suchym firmy Pfeiffer bezpiecznie usuwa toksyczne i korozyjne gazy przez chemisorpcję przy użyciu specjalnego granulatu. W ten sposób gazy są przekształcane w stabilne, nielotne ciała stałe. Środki chemiczne, które są teraz trwale związane z granulatem, można następnie bezpiecznie zutylizować zgodnie z lokalnymi regulacjami.
Metoda ta nie wymaga paliwa gazowego ani wody i nie generuje żadnych płynnych odpadów. W związku z tym jest wysoce wydajnym rozwiązaniem o niskich wymaganiach dotyczących mediów do przemysłowego usuwania gazów, w szczególności w przemyśle półprzewodnikowym oraz badaniach i rozwoju.
Systemy filtracyjne
Nasz suchy filtr cząstek zmniejsza emisję drobnego pyłu do minimum. System ten można połączyć z naszym systemem termicznego przetwarzania gazów, aby uzyskać najlepszą w swojej klasie wydajność usuwania cząstek.
Ponieważ filtr zbiera pył w miejscu zastosowania, przed kanałem wylotowym, minimalizuje to konieczność ręcznego czyszczenia kolejnych spalin wylotowych. Obniża to koszty eksploatacji obiektu.
Zastosowania
Układy usuwania gazów firmy Pfeiffer są niezbędne do utrzymania czystego i bezpiecznego środowiska produkcyjnego, w szczególności w branży półprzewodników. Od wytrawiania, chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), epitaksji, osadzania warstw atomowych (ALD), implantacji jonowej i rozcieńczania cienkowarstwowego po litografię ultrafioletową (EUV), nasze zaawansowane technologie zapewniają niezawodne usuwanie niebezpiecznych gazów procesowych bezpośrednio w miejscu użycia: termiczna obróbka gazów, przetwarzanie gazów na mokro, systemy filtracyjne i absorbery ze złożem suchym lub ich kombinacja.Każda branża ma unikatowe wymagania i normy bezpieczeństwa. Skontaktuj się z naszymi ekspertami, aby dowiedzieć się, które rozwiązanie do oczyszczania gazów jest najlepsze do Twoich potrzeb.
Usługi oczyszczania gazów
Od instalacji i uruchomienia po konserwację, modernizację i kontrole systemu – nasz zespół ekspertów zapewnia indywidualne wsparcie, aby zagwarantować maksymalną wydajność i osiągi Twojego sprzętu.
Oferujemy również analizę kosztów eksploatacji, pomiary gazów metodą spektroskopii w podczerwieni z transformacją Fouriera (FTIR), zaopatrzenie w części zamienne i usługi utylizacji, aby zapewnić bezpieczeństwo, zgodność i opłacalność systemu.
Zaprojektowane z myślą o Twoim procesie: rozwiązania do oczyszczanie gazów dostosowane do potrzeb
Nasze opracowane we własnym zakresie systemy modułowe umożliwiają dostosowanie każdego rozwiązania do konkretnych wymagań.
FAQ
Co to jest układ redukcji zanieczyszczeń gazowych i jak działa?
Układy usuwania gazu eliminują niebezpieczne zanieczyszczenia i gazy cieplarniane wytwarzane w procesach produkcyjnych, takich jak produkcja półprzewodników lub przenoszenie gazów przemysłowych. Oczyszczanie odpadów gazowych ma zasadnicze znaczenie dla zapewnienia, że gazy te mogą być bezpiecznie uwalniane do atmosfery bez szkody dla ludzi, zwierząt lub środowiska. Zróżnicowane właściwości różnych gazów odpadowych wymagają różnych technologii oczyszczania. Mogą one obejmować utlenianie termiczne, obróbkę na mokro, oczyszczanie ze złożem suchym, filtrację cząstek stałych lub połączenie tych metod.
Obróbka termiczna na mokro: łączy technologię obróbki termicznej i mokrej w celu oczyszczania różnych gazów odpadowych. Zmienia skład chemiczny szkodliwych gazów procesowych przez utlenianie termiczne i rozpuszcza gazy rozpuszczalne w wodzie oraz produkty uboczne na kolejnym poziomie mokrym.
Mokry skruber: ten proces polega na oczyszczaniu rozpuszczalnych w wodzie, szkodliwych zanieczyszczeń w gazach wylotowych przez ich absorbowanie i przekształcanie w fazę ciekłą.
Absorber ze złożem suchym: absorber ze złożem suchym to układ usuwania gazu, który usuwa gazy odpadowe, przepuszczając je przez złoże absorbcyjne z ciał stałych, w którym zanieczyszczenia są wiązane chemicznie lub fizycznie. Ta metoda skutecznie oczyszcza szkodliwe gazy procesowe, zapewniając bezpieczne emisje przyjazne dla środowiska. Po nasyceniu absorbenty są wymieniane lub regenerowane w celu utrzymania ciągłości eksploatacji.
Systemy filtracyjne: filtr cząstek stałych redukuje emisję drobnego pyłu dzięki suchym elementom filtracyjnym. Umożliwia to skuteczne oczyszczanie obciążonych cząstkami przepływów powietrza wylotowego, np. powstających w procesach produkcji półprzewodników. W razie potrzeby filtr cząstek stałych można zainstalować za naszymi systemami termicznego oczyszczania gazów.
Jakie są zalety technologii oczyszczania gazów firmy Pfeiffer?
Systemy oczyszczania gazów firmy Pfeiffer oferują wysoką wydajność, elastyczność i ekonomiczność, dzięki czemu są idealnym wyborem do produkcji półprzewodników i innych wymagających branż. Najważniejsze zalety:
- Trwałość: wykonane z wysokiej jakości materiałów nasze systemy zapewniają długotrwałe osiągi oraz niższe koszty eksploatacji i obsługi posprzedażnej.
- Elastyczność: oferujemy wszystkie główne technologie oczyszczania, zapewniając dużą elastyczność w wyborze systemu zgodnie z wymaganiami poszczególnych zastosowań.
- Modułowość: nasze systemy oczyszczania łączą różne technologie, tworząc rozwiązania dostosowane do indywidualnych potrzeb.
- Bezpieczeństwo: wbudowane funkcje bezpieczeństwa, takie jak standardowe czujniki gazu, awaryjne rozcieńczanie N₂, zawory przelewowe i opcje rezerwowe, zapewniają maksymalne bezpieczeństwo w sytuacjach awaryjnych.
Jak wybrać odpowiedni system oczyszczania gazów do danego zastosowania?
Rodzaj gazów wylotowych
Różne układy usuwania gazu zostały zaprojektowane z myślą o przetwarzaniu określonych typów gazów. W przypadku najczęściej występujących gazów wytwarzanych w branży półprzewodników i chemicznej, a także w branży R&D oraz innych porównywalnych branżach zalecane są technologie oczyszczania gazów, jak pokazano na poniższej ilustracji.
Określony tryb pracy procesu
Sposób działania procesu może mieć wpływ na przydatność określonej technologii oczyszczania gazów. Jedna technologia, która nadaje się idealnie do ciągłych procesów produkcyjnych, może nie być najbardziej opłacalna w przypadku rzadkich operacji, takich jak prace badawczo-rozwojowe. Kolejnym najlepszym wyborem mogą być półciągłe procesy produkcyjne lub częściowo przerywane operacje. Nasi eksperci chętnie pomogą Ci znaleźć odpowiednią technologię do konkretnych zastosowań.
Specyficzne wymagania obiektu
Infrastruktura obiektu może również mieć wpływ na najlepiej dopasowaną technologię. Różne technologie oczyszczania gazów wymagają różnych rozmiarów, dlatego należy wziąć pod uwagę dostępną przestrzeń do instalacji systemu oczyszczania gazów odpadowych. Innym ważnym czynnikiem jest dostępność mediów, takich jak energia elektryczna i azot, a także dodatkowe wymagania technologiczne, takie jak tlen, gazy paliwowe i ciecze.
Aby znaleźć odpowiedni układ usuwania gazu, skontaktuj się z naszymi ekspertami.
W jaki sposób układy usuwania gazu wspierają ochronę środowiska?
Angażujemy się na rzecz minimalizacji wpływu emisji gazów odpadowych na środowisko dzięki zaawansowanej technologii oczyszczania gazów. Nasze systemy skutecznie redukują szkodliwe emisje, w tym bardzo trwałe gazy PFC, takie jak CF4, SF6 i NF3, które wykazują ekstremalny potencjał globalnego ocieplenia. Skutecznie oczyszczając te gazy w miejscu ich użycia, nasze układy usuwania gazu pomagają chronić klimat i zmniejszyć emisje przemysłowe.
Nasze rozwiązania do oczyszczania spełniają wszystkie ważne normy bezpieczeństwa i zapewniają zgodność z surowymi przepisami dotyczącymi jakości powietrza, w tym z niemiecką regulacją TA-Luft. Ponadto nasze certyfikaty ISO 14001 i ISO 9001 odzwierciedlają nasze zaangażowanie w zrównoważony rozwój przemysłu i produkcję wysokiej jakości.
Łącząc najnowocześniejszą technologię z naciskiem na zrównoważony rozwój, dostarczamy rozwiązania, które przynoszą korzyści zarówno w zakresie wydajności operacyjnej, jak i wpływu na środowisko.
Czy firma Pfeiffer zapewnia również indywidualne planowanie rozwiązań do oczyszczania gazów?
Każda instalacja ma unikatowe wymagania, dlatego układy usuwania gazów Pfeiffer mają modułową konstrukcję, którą można dostosować do konkretnych potrzeb w zakresie oczyszczania gazów odpadowych. Ściśle współpracujemy z klientami, aby opracować wydajne, ekonomiczne i zrównoważone rozwiązanie dostosowane do ich procesów i zastosowań.
Jako dostawca kompleksowych usług zapewniamy szczegółowe planowanie projektu, od wstępnego doradztwa po uruchomienie, i nadal zapewniamy kompleksową obsługę posprzedażową i wsparcie serwisowe, aby zagwarantować maksymalną wydajność systemu.
Rozwiązania do oczyszczania gazów dostosowane do potrzeb
Co sprawia, że firma Pfeiffer jest liderem w dziedzinie innowacji w oczyszczaniu gazów?
W firmie Pfeiffer innowacje są podstawą wszystkich systemów oczyszczania gazów. Jako światowy lider technologiczny i kompleksowy dostawca technologii oczyszczania gazów odpadowych oferujemy najbardziej zaawansowane i wydajne rozwiązania dla czystszych i bardziej zrównoważonych standardów branżowych, w szczególności w produkcji półprzewodników.
Nasze własne laboratorium badawcze umożliwia nam ciągły rozwój najnowocześniejszych technologii środowiskowych. Ponadto aktywnie współpracujemy z uniwersytetami i instytutami badawczymi, wspierając rozwój nowych procesów produkcji przez zapewnienie bezpiecznego i zgodnego z przepisami oczyszczania gazów.