- Wysoka wydajność
- Niezawodność i efektywność energetyczna
- Kompaktowe i łatwe do przechowywania rozwiązanie
- Niski poziom hałasu i drgań
A 100/200 L
Wielostopniowe pompy próżniowe typu roost
Nasze wielostopniowe próżniowe próżniowe typu roots A 100 L i A 200 L to najnowocześniejsze rozwiązania dla branży półprzewodników oraz do lekkich procesów o wysokiej przepustowości.
Dzięki kompaktowym wymiarom i elastycznym opcjom podłączenia pompy te można łatwo zintegrować z istniejącymi systemami, przez co idealnie nadają się do komór typu load lock i komór przenoszenia, a także do wszelkich zastosowań niekorozyjnych.
A 100/200 L
Wielostopniowe roots'y próżniowe do lekkich procesów o wysokiej przepustowości
Zalety A 100/200 L
A 100 L i A 200 L to nasze kompaktowe i łatwe w przechowywaniu wielostopniowe pompy próżniowe typu roots zaprojektowane do bezproblemowej instalacji w systemach podpodłogowych w fabrykach półprzewodników. Dzięki wyjątkowym osiągom i efektywności energetycznej szybko i wydajnie przetwarzają duże ilości gazu podczas szybkich cykli ewakuacji, co skutkuje większą produktywnością i niższymi kosztami eksploatacji w porównaniu ze standardowymi pompami próżniowymi w ich klasie. Dlatego stanowią idealne rozwiązanie do zastosowań o wysokiej przepustowości, zwłaszcza w procesach produkcyjnych półprzewodników.
Model A 100 L wyróżnia się krótkim czasem przestoju pompy oraz opcjonalnymi interfejsami ułatwiającymi sterowanie i monitorowanie. Wersja energooszczędna zmniejsza ciśnienie wewnątrz komory sprężania, co zmniejsza drgania, poziom hałasu i pobór mocy nawet o 50%.
W przypadku zastosowań wymagających bardziej wydajnego rozwiązania i krótszego czasu przestoju pompa A 200 L zapewnia większą wydajność pompowania przy jednoczesnym dalszym zmniejszeniu poboru mocy. Dzięki identycznym wymiarom i przyłączom może łatwo zastąpić A 100 L, gdy wymagane są wyższe osiągi, bez żadnych modyfikacji w systemie. W modelu A 200 L dostępny jest ulepszony protokół komunikacyjny EtherCAT, który umożliwia komunikację z najnowocześniejszymi narzędziami technologicznymi, takimi jak sprzęt do produkcji półprzewodników.
