Seria A4

Seria A4 jest wyposażona w niezwykle energooszczędny silnik z napędem o zmiennej prędkości, który umożliwia dostosowanie prędkości pomp próżniowych do indywidualnych wymagań procesu. Urządzenia wykorzystują też tryb czuwania. Dzięki temu pompa pracuje z najniższą prędkością obrotową między etapami procesu i gdy nie ma zapotrzebowania na próżnię. Umożliwia to znaczące oszczędności energii.

Zaawansowane funkcje monitorowania, które sprawdzają stan pompy w czasie rzeczywistym, umożliwiają odczyt różnych parametrów pracy produktów serii A4, takie jak poziomy drgań, ciśnienie i wykrywanie kondensatu, za pomocą dostarczonego ręcznego sterownika zdalnego z wyświetlaczem. Umożliwia to wykonywanie konserwacji zapobiegawczej i skraca czas przestoju.

Zintegrowany wtrysk gorącego azotu na wylocie pomp próżniowych A4 poprawia bezpieczeństwo eksploatacji i wydajność oraz zapewnia ukierunkowane rozcieńczanie łatwopalnych gazów. Zawory regulacji ciśnienia i przepływu stale monitorują dopływ azotu i ostrzegają w przypadku odchyleń. Można obniżyć ryzyko powstawania osadów i kondensatu, skutecznie zapobiegając zablokowaniu przewodu tłocznego, co mogłoby prowadzić do wybuchu.

Ponadto wielostopniowe wspomagania próżniowe A4 są wyposażone w zaawansowane funkcje regulacji temperatury. Zintegrowane nagrzewnice utrzymują pompy próżniowe w określonej temperaturze, zapobiegając kondensacji i niepożądanym reakcjom chemicznym, aby zapewnić stałą jakość procesu. Wbudowane zabezpieczenia termiczne odcinają zasilanie, jeśli temperatura korpusu pompy próżniowej przekroczy 100°C, zapobiegając przegrzaniu i potencjalnemu uszkodzeniu pompy próżniowej.

W rodzinie produktów A4 dostępne są trzy wersje różniące się odpornością na korozję:

pompy próżniowe A4H są przystosowane do procesów o średnim obciążeniu w branżach półprzewodników i technologii powlekania. Przykładem może być nanoszenie cienkich warstw na ogniwa słoneczne. Dzięki podstawowej ochronie antykorozyjnej zapewniają one lepszą odporność na cząstki stałe, zapobiegają uszkodzeniom wrażliwych elementów pompy i gwarantują wysoką wydajność podczas obsługi tego typu procesów.

Do bardzo wymagających procesów w branży półprzewodników, takich jak wytrawianie warstw przewodzących i polikrzemu, polecana jest odporna na korozję wersja A4X, która zapewnia niezawodne rozwiązania pompowania na sucho. W porównaniu z pompami A4H jest ona wyposażona w lepsze zabezpieczenie antykorozyjne dzięki specjalnym materiałom, które chronią wirniki przed korozją.

Wersja A4XN jest idealna do zastosowań w środowiskach wysoce korozyjnych, takich jak występujących podczas chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) lub osadzaniem warstwy atomowej (ALD). Opracowana przez firmę Pfeiffer technologia tworzenia powłok niklowych XN zabezpiecza wszystkie części pompy próżniowej, które mają kontakt z gazami powodującymi korozję. Znacznie wydłuża to ich czas eksploatacji nawet w przypadku zastosowań w najtrudniejszych warunkach.