Wielostopniowe pompy Roots

Wielostopniowe pompy Roots do zastosowań czystych

Wielostopniowe pompy Roots firmy Pfeiffer łączą w sobie wyjątkową odporność i wysoką niezawodność. Doskonale nadają się do zastosowań wymagających czystej, wolnej od oleju i cząstek próżni, takich jak produkcja półprzewodników lub powłok próżniowych.

Idealne rozwiązania do zastosowań wymagających czystej próżni

Pompy serii ACP, A 100 L i A 200 L oraz TORRI BD to najnowocześniejsze rozwiązania zaprojektowane specjalnie z myślą o procesach czystych, wymagających wysokiej czystości i niezawodności.

Dzięki napędowi o zmiennej prędkości, systemowi chłodzenia powietrzem i minimalnym wymaganiom konserwacyjnym wynikającym z precyzyjnie skalibrowanych luzów, które zapewniają bezkontaktową pracę, seria ACP zapewnia stałą wydajność i trwałość. Funkcje te umożliwiają wydajną pracę pomp próżniowych w wielu wersjach. Każda z nich jest zoptymalizowana do konkretnych zastosowań: od przenoszenia czystych, niekorozyjnych gazów po procesy przenoszenia śladowych ilości gazów powodujących korozję. Zawór wyrównawczy w panelu ACP usprawnia pompowanie lekkich gazów i zapobiega kondensacji wewnątrz pompy. Wszystkie te cechy sprawiają, że seria ACP nadaje się idealnie do suchych procesów próżniowych w takich branżach, jak produkcja półprzewodników, medycyna i farmaceutyka oraz w R&D.

Seria A 100 L i A 200 L charakteryzuje się kompaktową konstrukcją i elastycznymi opcjami przyłączy z poziomymi lub pionowymi wlotami, umożliwiając bezproblemową integrację z istniejącymi systemami. Dzięki wyjątkowej wydajności i energooszczędności są w stanie szybko przetwarzać duże ilości gazu, umożliwiając szybkie i częste cykle pompowania w komorach typu load-lock i komorach przenoszenia.

Innym rozwiązaniem do komór typu load lock są kompaktowe pompy próżniowe TORRI BD. Łączą w sobie wysoką efektywność energetyczną, niskie ciśnienie końcowe dzięki sprawdzonej zasadzie działania i najlepsze w swojej klasie czasy przestoju pompy w komorze.

Odkryj wszystkie zastosowania

Wielostopniowe pompy Roots do trudnych zastosowań chemicznych

W procesach powlekania i produkcji półprzewodników występują zastosowania w trudnych warunkach, takie jak chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD), które wymagają stosowania silnie korozyjnych i agresywnych substancji chemicznych powodujących korozję. Kładzie to równie wysokie wymagania na ochronę antykorozyjną i kontrolę temperatury pomp próżniowych.

Wysoce niezawodne suche pompy próżniowe do trudnych procesów chemicznych

Nasze wielostopniowe pompy Roots serii A4 są wysoce niezawodnym i wydajnym rozwiązaniem do procesów, w których występują gazy powodujące korozję i agresywne substancje chemiczne. Dzięki zastosowaniu materiałów odpornych na korozję te pompy próżniowe doskonale nadają się do przenoszenia gazów powodujących korozję, zapewniając jednocześnie stałe i niezawodne osiągi. Seria A4, idealna do wymagających zastosowań, takich jak wytrawianie półprzewodników, chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD) i inne trudne procesy chemiczne, zapewnia niezawodne działanie i wyjątkową trwałość.

Odkryj wszystkie zastosowania

Wielostopniowa pompa Roots to pompa wyporowa o konstrukcji zapewniającej czystą i bezolejową próżnię. Przepompowane medium przechodzi przez kilka poziomów. Na każdym poziomie co najmniej dwa przeciwbieżnie obracające się wirniki krzywkowe przenoszą medium do poziomu końcowego. Dzięki zastosowaniu wielu poziomów połączonych szeregowo pompa osiąga wyższe różnice ciśnień i niższe poziomy ciśnienia końcowego niż booster próżniowy.

Jej solidna konstrukcja w połączeniu z powłokami antykorozyjnymi sprawia, że wielostopniowe pompy Roots, takie jak seria A4 firmy Pfeiffer, są bardzo odporne na agresywne gazy i cząstki stałe. Dzięki tym cechom jest ona idealna do wymagających zastosowań, w których niezbędna jest czysta i sucha próżnia, takich jak produkcja półprzewodników, powłoki próżniowe, analityka oraz badania i rozwój.

Wielostopniowa pompa Roots składa się z wielu poziomów ułożonych w szeregu. Każdy poziom zawiera obracające się wirniki krzywkowe, które przenoszą przepompowane medium przez pompę. Kanały przenoszenia regulują przepływ czynnika między poziomami, a przekładnia synchronizuje ruch wirników krzywkowych, aby zapobiec ich kontaktowi ze sobą lub z obudową.

Zasadę działania można wyjaśnić w trzech krokach:

1. Wlot (pierwszy poziom):

2. Sprężanie na kilku poziomach:


3. Wylot (poziom końcowy):

Wielostopniowe pompy Roots zostały zaprojektowane specjalnie z myślą o przetwarzaniu licznych substancji chemicznych, w tym substancji powodujących korozję i agresywnych. Pompy te skutecznie i niezawodnie radzą sobie z wieloma związkami chemicznymi, takimi jak kwasy i rozpuszczalniki, gazy i pary. Seria A4 firmy Pfeiffer wyróżnia się wyjątkowo wytrzymałą konstrukcją i odpornymi na korozję materiałami, takimi jak specjalne powłoki antykorozyjne. W połączeniu z funkcjami regulacji temperatury, jak wbudowane podgrzewacze, pomagają zapobiegać kondensacji i niepożądanym reakcjom chemicznym, takim jak powstawanie produktów ubocznych.

Wymagany typ wielostopniowej pompy Roots zależy od konkretnego procesu, w którym ma być stosowana. Różne zastosowania wymagają różnych wydajności pompowania, ciśnień końcowych, wydajności przepływu wlotowego i możliwości przenoszenia gazu. Na przykład w produkcji półprzewodników preferowane są kompaktowe wielostopniowe pompy Roots o wysokiej przepustowości do szybkich cykli ewakuacji. Natomiast analizatory powierzchniowe i detektory nieszczelności mogą wymagać wersji ze specjalnymi opcjonalnymi portami gazowymi. Ponadto w przypadku akceleratorów cząstek niezbędne są modele odporne na promieniowanie. Dlatego zrozumienie unikalnych wymagań każdego zastosowania ma kluczowe znaczenie przy wyborze najbardziej odpowiedniej wielostopniowej pompy Roost, aby zapewnić optymalne osiągi i wydajność.

Wielostopniowe pompy Roots firmy Pfeiffer spełniają surowe wymagania procesów powlekania, co czyni je doskonałym wyborem do tych zastosowań.

1. Czysta i sucha próżnia: wielostopniowe pompy Roots wytwarzają czystą i suchą próżnię, która jest niezbędna w procesach powlekania, aby zapobiec zanieczyszczeniu.

2. Wysoka niezawodność: ich bezstykowa praca minimalizuje zużycie i zapewnia stałe osiągi przez długi czas, co jest szczególnie ważne w procesach powlekania, w których stabilność procesu i czas sprawności operacyjnej mają krytyczne znaczenie.

3. Wysoka efektywność energetyczna: wiele modeli naszych wielostopniowych pomp Roots jest wyposażonych w napędy o zmiennej prędkości, co zmniejsza zużycie energii. Jest to szczególnie istotne w procesach powlekania, które często przebiegają w sposób ciągły lub w długich cyklach. Oszczędności energii mogą mieć znaczny wpływ na łączne koszty eksploatacji.

4. Trwałość: konstrukcja tych pomp próżniowych umożliwia pracę z gazami i skroplinami powodującymi korozję. Na przykład ACP 120 G jest wyposażona w układ zaworu wyrównawczego azotu, a seria A4 ma powłokę antykorozyjną, która jest idealna do procesów powlekania substancjami kondensującymi lub agresywnymi.

5. Kompaktowa konstrukcja: kompaktowe wielostopniowe pompy Roots, takie jak TORRI BD, A 100 L i A 200 L, można łatwo zintegrować z istniejącymi systemami półprzewodnikowymi. Ta niewielka powierzchnia zajmowana jest szczególnie korzystna w konfiguracjach do powlekania, gdzie przestrzeń jest najmniejsza.

Zarówno boostery próżniowe i wielostopniowe wspomagające pompy próżniowe pracują na tej samej sprawdzonej zasadzie Rootsa, wykorzystując co najmniej dwa przeciwbieżnie obracające się wirniki krzywkowe do przenoszenia przepompowanego medium przez system. Różnią się one jednak budową i funkcją:

w booster próżniowy używany w połączeniu z pompą wspomagającą zwiększa wydajność pompowania i wydajność systemu próżniowego. W przeciwieństwie do konwencjonalnej pompy próżniowej nie spręża on wewnętrznie przepompowanego medium. Zamiast tego przenosi medium do pompy wspomagającej, gdzie odbywa się faktyczne sprężanie.

Natomiast wielostopniowe pompy Roots składają się z kilku poziomów połączonych w szereg. Stopniowo spręża ona przepompowane medium w komorze sprężania na różnych poziomach przed opuszczeniem pompy.