- Do trudnych warunków procesowych
- Solidna konstrukcja
- Szeroki zakres temperatur
- Niskie zużycie energii
UltiDry
Wielostopniowe pompy próżniowe Roots
Wielostopniowe pompy próżniowe Rootsa UltiDry zostały zaprojektowane specjalnie z myślą o wymagających procesach w produkcji półprzewodników. Ich solidna konstrukcja umożliwia obsługę gazów powodujących korozję i agresywnych produktów ubocznych przy minimalnym zużyciu energii i konserwacji.
Dzięki bezolejowej i wielostopniowej kompresji te pompy próżniowe idealnie nadają się do czystego i suchego wytwarzania próżni w zastosowaniach związanych z półprzewodnikami, powłokami i innymi wymagającymi środowiskami.
UltiDry
Elastyczne i energooszczędne rozwiązanie do procesów produkcji półprzewodników
Korzyści z UltiDry
Wielostopniowe pompy próżniowe Rootsa UltiDry zostały zaprojektowane z myślą o niezawodnej pracy w najbardziej wymagających środowiskach przemysłowych. Ich wielostopniowe sprężanie zapewnia czyste, suche wytwarzanie próżni bez zanieczyszczeń, co ma kluczowe znaczenie dla wrażliwych procesów w przemyśle półprzewodnikowym, takich jak chemiczne osadzanie z fazy gazowej lub warstw atomowych. Nawet w przypadku narażenia na działanie gazów powodujących korozję lub dużych ilości proszku pompy próżniowe UltiDry utrzymują wysoki czas pracy bez przestojów i stałą wydajność.
Opatentowany system wtrysku czyszczącego zabezpieczy pompę próżniową, wypłukując zanieczyszczenia, takie jak proszek. Ułatwia to zarządzanie proszkiem podczas pracy, minimalizując ryzyko zanieczyszczenia i zapewniając stabilną pracę.
Dzięki niskiemu poborowi mocy pompy próżniowe UltiDry zapewniają również oszczędność energii do 87% w porównaniu z produktami innych konkurentów. Pracują niezawodnie w szerokim zakresie temperatur od 50 do 270°C, dzięki czemu nadają się do procesów wrażliwych na temperaturę, takich jak fizyczne osadzanie z fazy gazowej. Powłoka odporna na korozję zapewnia, że pompy próżniowe mogą obsługiwać agresywne gazy w zastosowaniach takich jak chemiczne osadzanie z fazy gazowej.
