- Najnowocześniejsza technologia śrubowa
- Sucha i bezstykowa zasada działania
- Wyjątkowy projekt „pływającego łożyska”
- Konstrukcja wspornikowa
- Kompaktowa, oszczędzająca miejsce konstrukcja
- Bezpośrednie chłodzenie wodą
- W pełni otwarty protokół komunikacyjny
COBRA Semicon
Suche śrubowe pompy próżniowe
Zasada działania pomp próżniowych COBRA Semicon opiera się na naszej najnowocześniejszej technologii śrubowej. Dzięki opatentowanym śrubom samonastawnym wyznaczają nowe standardy wydajności i niezawodności w produkcji półprzewodników.
Pompy próżniowe COBRA Semicon łączą dużą przepustowość z wysoką tolerancją na działanie par i cząstekstałych. Dzięki temu możliwe jest bezproblemowe usuwanie mediów zawierających dużą ilość cząstek stałych. Bezolejowa i bezstykowa zasada działania zapewnia niskie wymogi w zakresie konserwacji, niskie koszty eksploatacji oraz długi cykl życia.
Poznaj naszą serię COBRA Semicon
COBRA BC
Idealne rozwiązanie do lekkich i średnich zastosowań w przemyśle półprzewodnikowym
Korzyści zapewniane przez serię COBRA BC
Suche śrubowe pompy próżniowe COBRA BC doskonale nadają się do zadań w produkcji półprzewodników, zwłaszcza w komorach typu load-lock i komorach przenoszenia. Inne zastosowania to m.in. metrologia, litografia, fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD), szybkie spiekanie termiczne (RTA) i trawienie krzemu.
Opatentowana konstrukcja śruby samonastawnej zapewnia najniższe poziomy drgań i cichą pracę.
Wirniki śrubowe pomp próżniowych COBRA BC są wytwarzane z jednoelementowego odlewu zapewniającego bezszczelinowość. W praktyce uniemożliwia to wnikanie płynów procesowych lub cząstek stałych. Tym samym zapobiega korozji i powstawaniu osadów.
Dzięki konstrukcji wspornika o kształcie dzwonu podwójny wirnik pomp próżniowych COBRA BC ze śrubami o zmiennym skoku jest zamontowany tylko po stronie silnika. Unikatowa budowa „pływającego łożyska” eliminuje konieczność stosowania łożysk na wlocie. Dzięki temu rozwiązaniu przepompowywane medium nie styka się z łożyskami. Zapewnia to wytwarzanie czystej próżni i umożliwia pełne odzyskiwanie przepompowywanego medium.
W pompach próżniowych serii COBRA BC stosowane jest wydajne bezpośrednie chłodzenie wodą. Zapewnia ono równomierny rozkład temperatur w korpusie pompy. Ponadto skutkuje to stabilnością termiczną procesu.
W pełni otwarty protokół komunikacyjny (Modbus TCP-IP) pozwala na sterowanie wszystkimi funkcjami. Należą do nich tryby czuwania i napęd o zmiennej prędkości. Protokół komunikacji można w łatwy sposób dostosować do konkretnego protokołu sieci za pomocą standardowych elementów interfejsu.
Bezpośrednio zamontowany silnik zespolony pozwala na zmniejszenie wymiarów pomp serii COBRA BC. Dzięki dopasowanej konstrukcji mogą być łatwo i szybko montowane w istniejących systemach.
COBRA DS
Nowa generacja suchych pomp próżniowych do wymagających procesów produkcji półprzewodników
- Najnowocześniejsza technologia śrubowa
- Sucha i bezstykowa zasada działania
- Doskonała tolerancja na pyły
- Efektywne pośrednie chłodzenie wodą
- Kompaktowa, oszczędzająca miejsce konstrukcja
- Wysoka wydajność pompowania umożliwiająca wyprowadzanie wodoru
- Wysoce wydajny silnik
- Dostępne rozmiary ze zintegrowanym wspomaganiem próżniowym
Korzyści zapewniane przez serię COBRA DS
Suche śrubowe pompy próżniowe COBRA DS to idealne generatory próżni do wymagających zastosowań w przemyśle półprzewodnikowym, zwłaszcza tam, gdzie wymagana jest wysoka przepustowość wodoru. Dzięki temu stanowią doskonałe rozwiązanie do chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), szybkiego przetwarzania termicznego (RTP) lub osadzania warstw atomowych (ALD).
Pompy serii COBRA DS o różnych rozmiarach są wyposażone w wysokiej jakości zintegrowane boostery próżniowe. To połączenie pompy wspomagającej i boostera próżniowego umożliwia osiągnięcie zwiększonych wydajności pompowania oraz ciśnień końcowych.
Samonastawna śruba pompy próżniowej to opatentowany innowacyjny projekt. Konstrukcja ta zapewnia doskonałą tolerancję na pyły i wysoki czas pracy bez przestojów.
Wirniki śrubowe pomp próżniowych COBRA DS są wytwarzane z jednoelementowego odlewu zapewniającego bezszczelinowość. W praktyce uniemożliwia to wnikanie płynów procesowych lub cząstek stałych. Tym samym zapobiega korozji i powstawaniu osadów.
W pompach próżniowych serii COBRA DS zastosowano efektywne pośrednie chłodzenie wodą. Umożliwia ono kontrolę rozkładu temperatur na korpusie pompy. W każdej chwili możliwa jest reakcja na zmiany przebiegu procesów.
Dzięki dopasowanej konstrukcji produkty COBRA DS można łatwo i szybko zamontować w istniejących systemach.
