Zaktualizuj przeglądarkę.
Wygląda na to, że używasz starej wersji przeglądarki Microsoft Edge. Aby czerpać jak najwięcej ze strony internetowej Busch, zaktualizuj używaną przeglądarkę.
Seria produktów | Nominalna wydajność pompowania |
|---|---|
COBRA BC | 100 m3/h – 1580 m3/h |
COBRA DS | 70 m3/h – 6 000 m3/h |
Sucha śrubowa pompa próżniowa zapewnia wysoką wydajność pompowania i wytwarzanie próżni bez zanieczyszczeń. Korzyści te sprawiają, że jest to ważny komponent w produkcji półprzewodników. Zasadę działania suchej śrubowej pompy próżniowej można wyjaśnić w trzech krokach:
1. Wlot:
Suche śrubowe pompy próżniowe firmy Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions są stosowane w wiodących fabrykach półprzewodników. Ich zasada działania oparta na naszej innowacyjnej technologii śrub sprawia, że nadają się idealnie do różnych procesów w tej branży. Kilka kluczowych cech i korzyści:
1. Niskie wymagania w zakresie konserwacji: śrubowe pompy próżniowe pracują bezstykowo podczas sprężania. To znaczy, że wirniki śrubowe nie stykają się ze sobą ani z obudową pompy. Minimalizuje to zużycie i potrzeby konserwacji, zapewniając długi czas sprawności operacyjnej.
2. Bezolejowa praca: suche pompy próżniowe nie wymagają stosowania płynów eksploatacyjnych, takich jak olej, w komorze sprężania. Czyste wytwarzanie próżni ma kluczowe znaczenie w zastosowaniach związanych z półprzewodnikami, w których należy unikać zanieczyszczeń, aby zapewnić najwyższą jakość produktu i precyzję.
3. Regulacja temperatury: suche śrubowe pompy próżniowe są wyposażone w wydajny system chłodzenia wodą. Ta funkcja zapewnia równomierny rozkład temperatur na korpusie pompy i zapobiega przegrzaniu. Ciepło ze sprężania jest rozprowadzane na całym korpusie pompy, co zapewnia stabilność termiczną w procesach produkcji półprzewodników. Potencjalną korzyścią tej stabilności jest zapobieganie skraplaniu się gazów procesowych wewnątrz pompy próżniowej, co zmniejsza ryzyko zanieczyszczenia.
4. Wysoka wydajność pompowania i przepustowość: suche śrubowe pompy próżniowe oferują doskonałą efektywność, wysoką wydajność pompowania i dużą przepustowość. Są one niezbędne w różnych zastosowaniach związanych z półprzewodnikami – od komór typu load lock po procesy generujące cząstki, takie jak wytrawianie metalu.
5. Przystosowanie do agresywnych gazów: produkcja półprzewodników obejmuje takie zastosowania, jak wytrawianie. W tych procesach wykorzystywane są toksyczne gazy, takie jak chlor. Śrubowe pompy próżniowe mogą skutecznie przetwarzać te gazy dzięki jednoczęściowemu odlewowi. Zapobiega to powstawaniu szczelin i uniemożliwia przedostawanie się tych gazów do wnętrza pompy. Zapobiega to korozji.
6. Niski poziom hałasu: dzięki opatentowanemu projektowi samowyrównującej się śruby te pompy próżniowe zapewniają niski poziom drgań i cichą pracę. Niski poziom hałasu ma kluczowe znaczenie dla wrażliwych procesów związanych z produkcją półprzewodników.
Wszystkie te cechy sprawiają, że suche śrubowe pompy próżniowe, takie jak seria COBRA Semicon firmy Pfeiffer, są niezawodnym rozwiązaniem do wszelkiego rodzaju zastosowań w produkcji półprzewodników. Oferują one wydajne, energooszczędne wytwarzanie próżni wolnej od zanieczyszczeń.
Tak, śrubowe pompy próżniowe są wysoce kompatybilne z nowoczesnymi systemami półprzewodnikowymi. Są one zaprojektowane tak, aby sprostać wymagającym wymaganiom zastosowań w branży półprzewodników, takich jak metrologia, litografia i procesy obróbki płytek.
Śrubowe pompy próżniowe, takie jak COBRA Semicon firmy Pfeiffer, oferują wysoką wydajność, niskie zużycie energii i wysoką tolerancję na pary i cząstki. Wszystkie te korzyści sprawiają, że śrubowe pompy próżniowe nadają się doskonale do zastosowań w produkcji półprzewodników. Ich bezolejowe sprężanie zapewnia wytwarzanie próżni bez zanieczyszczeń. To czyste środowisko ma kluczowe znaczenie dla utrzymania czystości wymaganej w fabrykach półprzewodników.
Przy wyborze odpowiedniego rozwiązania próżniowego do zastosowań w branży półprzewodników należy wziąć pod uwagę kilka czynników. Czynniki te różnią się w zależności od konkretnych procesów, takich jak przenoszenie płytek, CVD lub ALD.
Skontaktuj się z nami, aby omówić, które rozwiązanie próżniowe najlepiej spełnia Twoje wymagania. Nasi eksperci chętnie Ci pomogą!
W innych zastosowaniach przemysłowych śrubowe pompy próżniowe firmy Busch Vacuum Solutions zapewniają niezawodne i wydajne wytwarzanie próżni. Odwiedź stronę firmy Busch Vacuum Solutions, aby uzyskać więcej informacji.
Skorzystaj z naszych artykułów, szkoleń i webinarów, by poszerzyć kompetencje i wiedzę. Bardziej szczegółowe informacje na temat technologii śrubowej można znaleźć w naszym Podręczniku technologii próżniowej.
