ATH-M / ATP-M

Technologia łożysk magnetycznych w seriach ATH-M i ATP-M wykorzystuje elektromagnetyzm i zaawansowany elektroniczny system sterowania, aby utrzymać wirnik w zawieszeniu i umożliwić obrót bez fizycznego kontaktu z obudową pompy. Eliminuje to tarcie, zapobiega zużyciu i sprawia, że te turbopompy są bezobsługowe.

Zminimalizowane tarcie mechaniczne zapewnia również niski poziom hałasu i drgań. Dzięki temu turbopompy ATH-M i ATP-M idealnie nadają się do zastosowań wrażliwych na drgania w procesach produkcji półprzewodników.

Ponadto w przypadku awarii zasilania łożyska magnetyczne są zasilane energią elektryczną wytwarzaną przez energię rotacyjną pompy. Umożliwia to łatwe mostkowanie kilkuminutowych przerw w dostawie mocy.

Wirniki w turbomolekularnych pompach próżniowych są napędzane silnikami prądu stałego (DC) o regulowanej częstotliwości. Mogą regulować prędkość obrotową wirników w celu dostosowania jej do żądanego poziomu próżni, co pomaga oszczędzać energię i koszty. W najnowszej generacji pomp ATH-M i ATP-M napęd jest zintegrowany z pompą, zapewniając kompaktowe wymiary urządzenia.

Niektóre turbopompy ATH-M są wyposażone w zintegrowany system ogrzewania, który pomaga utrzymać osiągi pompy w wymagających warunkach chemicznych. Ta funkcja jest szczególnie korzystna w zastosowaniach takich jak chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD), gdzie reakcje chemiczne mogą prowadzić do powstawania produktów ubocznych, które mają tendencję do skraplania się w systemie próżniowym. Zintegrowane ogrzewanie utrzymuje pompę w stałej podwyższonej temperaturze, zmniejszając ryzyko kondensacji i gromadzenia się osadów.