Zaktualizuj przeglądarkę.

Wygląda na to, że używasz starej wersji przeglądarki Microsoft Edge. Aby czerpać jak najwięcej ze strony internetowej Busch, zaktualizuj używaną przeglądarkę.

Zawory próżniowe

Niezbędne w projekcie systemu próżniowego.

zawory próżniowe

Zawory próżniowe odgrywają kluczową rolę w projekcie i funkcjonalności systemów próżniowych, zapewniając precyzyjne sterowanie próżnią i niezawodność w różnych branżach i zastosowaniach badawczych.

Nasza oferta obejmuje szeroką gamę zaworów do regulacji ciśnienia i zaworów odcinających, dostępnych z różnymi elementami wykonawczymi i typami kołnierzy, aby spełnić różne potrzeby eksploatacyjne.

Rodzaje zaworów podciśnieniowych

Podstawowe systemy próżniowe składają się z trzech podstawowych typów sprzętu: pomp próżniowych, komór próżniowych i zaworów próżniowych. Wybór odpowiednich zaworów próżni ma kluczowe znaczenie dla optymalizacji osiągów systemu i współdziałania tych kluczowych komponentów.

Zawory próżniowe są zazwyczaj podzielone na dwie główne kategorie: zawory odcinające i zawory regulacji ciśnienia.

Zawory odcinające

Zawory te odcinają przepływ gazu i mogą być obsługiwane ręcznie, pneumatycznielub elektrycznie. Mają one kluczowe znaczenie, jeśli chodzi o utrzymanie warunków próżni przez odizolowanie sekcji systemu próżniowego.

Odpowiednie do różnych zastosowań, w tym produkcji półprzewodników, badań i rozwoju oraz procesów przemysłowych, zawory odcinające zapewniają niezawodne uszczelnienie i wydajność operacyjną.
  • angle_valves

    Zawory kątowe

    Niezawodna izolacja do szerokiego zakresu zastosowań próżni - idealna do badań, powłok, półprzewodników i systemów przemysłowych.

    Kup teraz
  • hv_gate_valves

    Zawory suwakowe HV

    Wysokie wartości przewodności w przepływach molekularnych – idealne do zastosowań w wysokiej próżni

    Kup teraz
  • Zawór wahadłowy do wysokiej próżni

    Zawory wahadłowe HV

    Płynne działanie i wysoka przewodność – idealne rozwiązanie do zastosowań, w których przestrzeń jest ograniczona, a wymagana jest niezawodna izolacja próżniowa

    Kup teraz
  • Zawory zasuwowe do bardzo wysokiej próżni

    Zawory suwakowe UHV

    Wysoka przewodność i doskonałe uszczelnienie – idealne do zastosowań wymagających bardzo wysokiej próżni

    Kup teraz
  • Zawory kulowe

    Zawory kulowe

    Możliwość działania w trudnych warunkach procesowych – nadają się do zastosowań wymagających niezawodnego uszczelnienia i trwałości

    Kup teraz
  • inline_valves

    Zawory liniowe

    Wydajny przepływ gazu i duże różnice ciśnień – idealne do zastosowań przemysłowych i badań

    Kup teraz
  • Zawory odpowietrzające

    Zawory odpowietrzające

    Kontrolowane odpowietrzanie systemów próżniowych do ciśnienia atmosferycznego – niezbędne do bezpiecznej konserwacji i wyłączania systemu

    Kup teraz
  • Zawory membranowe

    Zawory membranowe

    Optymalny do pracy w warunkach wysokiej próżni

    Kup teraz
  • zawory motylkowe

    Zawory motylkowe

    Idealny do odcinania poszczególnych odcinków układu próżniowego w zastosowaniach wymagających wysokiej próżni

    Kup teraz

Zawory regulacji ciśnienia

Systemy regulacji ciśnienia składają się z trzech podstawowych komponentów: zaworów, sterowników i mierników. Podstawową funkcją zaworów regulacyjnych ciśnienia jest regulacja ciśnienia wewnątrz komory próżniowej oraz przepływu gazu w systemach próżniowych.

Zawory regulacji ciśnienia idealnie nadają się do zastosowań wymagających precyzyjnego sterowania procesem, takich jak branża półprzewodnikowa i powłoki.
  • gas_contol_valves

    Zawory regulacyjne gazu

    Precyzyjnie kontrolowany przepływ gazu za pomocą elektromagnetycznego mechanizmu dozującego.

    Kup teraz
  • gas_dosing_valve

    Zawory dozowania gazu

    Niezawodny, kontrolowany przepływ gazu i ciśnienie w systemach próżniowych

    Kup teraz

Siłowniki

vacuum_valves_1
Zawory mogą być aktywowane na różne sposoby.

Zawory odcinające są zazwyczaj obsługiwane ręcznie za pomocą pokrętła lub mechanizmu szybkiego zamykania/otwierania lub pneumatycznie przy użyciu sprężonego powietrza.

Jednak nasze zawory odcinające serii E są uruchamiane elektrycznie. Dodatkowo zawory regulacji ciśnienia są napędzane elektrycznie przez silnik.

Kup teraz

Sterowanie ręczne

Zawory ręczne mogą być obsługiwane bez elektroniki za pomocą pokrętła lub mechanizmu szybkiego zamykania/otwierania.

Pokrętła ręczne zapewniają precyzyjne, stopniowe sterowanie w celu płynnej obsługi, a mechanizmy szybkiego otwierania/zamykania umożliwiają szybkie uruchomienie w celu szybkiej izolacji lub w sytuacjach awaryjnych.

Sterowanie pneumatyczne

Zawory sterowane pneumatycznie wymagają zasilania bezolejowym sprężonym powietrzem. Służy do przesuwania wewnętrznego tłoka, który otwiera lub zamyka zawór.

Sterowanie elektryczne

Sterowanie elektryczne wykorzystuje silniki do przekształcenia energii elektrycznej w precyzyjny ruch mechaniczny. Powoduje to otwarcie lub zamknięcie zaworu bez użycia sprężonego powietrza.

Sterowanie elektropneumatyczne

Zawory sterowane elektropneumatycznie zawierają sterowany pneumatycznie zawór z wbudowanym zaworem elektromagnetycznym do sterowania zasilaniem sprężonym powietrzem.

Zawór elektromagnetyczny to sterowany elektrycznie zawór regulacyjny, który otwiera się lub zamyka, gdy pole magnetyczne jest wytwarzane przez prąd elektryczny.

Umożliwia to zdalne sterowanie zaworem za pomocą sygnału elektrycznego, łącząc szybki i niezawodny ruch pneumatyczny z wygodą i sterowaniem przełącznikiem elektronicznym.

FAQ

Czym jest zawór próżniowy?

Zawór próżniowy jest komponentem mechanicznym który, steruje przepływem gazów w systemie próżniowym.

Każdy zawór pełni inną rolę: może po prostu otwierać się lub zamykać, aby uruchomić lub zatrzymać przepływ gazu, lub może być elementem sterującym przepływem, aby pomóc w ustaleniu lub utrzymaniu żądanego poziomu ciśnienia. Niektóre typy zaworów mogą również przekierowywać gaz – na przykład poprzez odpowietrzenie komory próżniowej czystym, suchym gazem - w celu bezpiecznego przywrócenia ciśnienia atmosferycznego w systemie lub zabezpieczenia wrażliwych komponentów podczas wyłączania.

Zawory próżniowe są dostępne w różnych formach z różnymi metodami uruchamiania, w tym w konstrukcjach obsługiwanych ręcznie, pneumatycznie i elektrycznie.

Zawory próżniowe są stosowane w połączeniu z pompami próżniowymi i komorami próżniowymi. Są one niezbędne do niezawodnej i precyzyjnej pracy w zastosowaniach takich jak produkcja półprzewodników,nakładanie powłok cienkowarstwowych oraz w laboratoriach badawczych.

Jaka jest różnica między różnymi typami zaworów?

Każdy typ zaworu pełni określoną funkcję w systemie próżniowym.
Poniższy przegląd przedstawia główne cechy i przypadki zastosowania, które pomogą wybrać odpowiedni model do danego zastosowania.

Rodzaj zaworu
Typowa funkcja
Kluczowe zalety
Typowe zastosowania
Zawór suwakowy
Otwieranie i zamykanie za pomocą płaskiej płyty w celu odizolowania sekcji
Bardzo wysoka przewodność, odpowiednia do wysokiego podciśnienia i bardzo wysokiej próżni
Zawory kątowę
Przekierowują przepływ gazu o 90° dzięki uszczelnieniu, grzybkowi i trzepieniowi
Kompaktowa konstrukcja odpowiednia do systemów z ograniczeniami stwarzanymi przez rurociągi, wymagających zmiany kierunku przepływu
Ogólne systemy próżniowe, instalacje badawczo-rozwojowe, wszystkie rynki
Zawór motylkowy
Tarcza obracająca do odcinania lub sterowania przepływem
Niewielki ciężar, szybkie uruchamianie
Zawór kulowy
Sterowanie przepływem za pomocą kuli obrotowej
Kompaktowy i odporny projekt, szybkie uruchamianie
Systemy przemysłowe i motoryzacyjne, półprzewodniki
Zawór membranowy
Sterowanie przepływem za pomocą elastycznej membrany
Czysta praca, niskie ryzyko zanieczyszczenia
Zawór wahadłowy
Ruch płaskiego uszczelnienia z obracającą się bramką
Nadaje się do ograniczonych przestrzeni, wysoka przewodność, minimalna ilość cząstek
Zawór odpowietrzający
Umożliwia kontrolowane odpowietrzanie do atmosfery w celu uwolnienia nadciśnienia
Bezpieczne wyrównanie ciśnienia, zabezpieczenie komponentów
Konserwacja i odpowietrzanie komory

Jak uruchamiane są zawory?

Zawory można obsługiwać na trzy różne sposoby: ręcznie, pneumatycznie i elektrycznie.

  • Zawory obsługiwane ręcznie otwierane są za pomocą pokrętła lub mechanizmu szybkiego zamykania/otwierania. Mechanizmy szybkiego otwierania/zamykania umożliwiają szybkie uruchomienie w celu szybkiej izolacji lub w sytuacjach awaryjnych.
  • Zawory sterowane pneumatycznie wykorzystują sprężone powietrze do poruszania wewnętrznym tłokiem lub membraną, które otwierają lub zamykają mechanizm zaworu.
  • Elektryczny element wykonawczy wykorzystuje silniki do przekształcania energii elektrycznej w precyzyjny ruch mechaniczny, umożliwiając zautomatyzowane i niezawodne sterowanie bez potrzeby stosowania sprężonego powietrza.
Ponadto dostępna jest wersja łączona: zawory sterowane elektropneumatycznie również wykorzystują sprężone powietrze, ale z wbudowanym elektrozaworem sterującym przepływem powietrza. Zawór elektromagnetyczny jest zaworem regulacyjnym sterowanym elektrycznie, który otwiera się lub zamyka po wytworzeniu pola magnetycznego.

Do celów monitorowania dostępne są wskaźniki pozycji, które określają, czy zawór jest otwarty czy zamknięty. Zawory ręczne są zazwyczaj wyposażone we wskaźnik wizualny, natomiast zawory pneumatyczne mogą generować bezpośrednie elektryczne sprzężenie zwrotne do systemu próżniowego, zapewniając precyzyjne sterowanie i monitorowanie. Wskaźniki te są zwykle mocowane bezpośrednio na trzonie zaworu lub obudowie siłownika, gdzie śledzą pozycję ruchomego elementu wykonawczego wewnątrz zaworu.

Jakie kryteria należy wziąć pod uwagę przy wyborze zaworu próżni?

Istnieje kilka kryteriów, które należy wziąć pod uwagę przy wyborze odpowiedniego zaworu próżni do danego zastosowania.

  • Przeznaczenie: zastosowanie ma znaczący wpływ na wybór zaworu. Wymagania różnią się w zależności od tego, czy zawór jest używany głównie do otwierania i zamykania przewodu podciśnieniowego, czy do regulacji ciśnienia.
  • Instalacja i kompatybilność systemu: wymiary fizyczne dostępnej przestrzeni instalacyjnej oraz kołnierze pompy próżniowej i komory mają bezpośredni wpływ na wybór odpowiedniego rozmiaru zaworu.
  • Przepompowane medium: skład gazów przepływających przez zawór ma duży wpływ na wybór materiałów, zapewniając trwałość i niezawodność zaworu.
  • Temperatura: znajomość oczekiwanych temperatur jest niezbędna do doboru odpowiednich materiałów korpusu zaworu i uszczelnień, co gwarantuje długotrwałe działanie.
  • Ciśnienie: zrozumienie warunków ciśnienia, na które zawór będzie narażony, będzie mieć wpływ na wybór zaworu.

Skontaktuj się z naszymi ekspertami i znajdź idealne zawory próżni do swoich zastosowań.

Co wyróżnia zawory próżniowe Pfeiffer?

Zawory próżniowe serii E są bezpośrednią wymianą zaworów sterowanych pneumatycznie i elektropneumatycznie, łącząc ich odporność i funkcjonalność z korzyściami płynącymi z całkowicie elektrycznego sterowania. Eliminują one konieczność stosowania sprężonego powietrza i zewnętrznych zaworów elektromagnetycznych, jednocześnie unikając typowych wad zaworów elektromagnetycznych, takich jak wysoki pobór mocy, ograniczona dokładność pozycjonowania i zwiększone wytwarzanie ciepła. Rezultatem jest precyzyjne i niezawodne sterowanie zaworem przy niższym zużyciu energii i uproszczonej integracji systemu.

Nasze zawory regulacyjne ciśnienia zawierają dwie kluczowe innowacje zaprojektowane z myślą o wyjątkowych osiągach:

  • Technologia sterowania silnikiem w sterowniku umożliwia szybką pracę i precyzyjną rozdzielczość pozycji, umożliwiając szybką reakcję na zmieniające się warunki procesu produkcyjnego.
  • Nasz algorytm adaptacyjnej regulacji ciśnienia współpracuje ze sterownikiem silnika, aby stale dostosowywać reakcję zaworu do warunków panujących w danym prądzie. Pomaga to dokładnie utrzymać ciśnienie docelowe.

W jakich zakresach ciśnienia można stosować zawory?

Zawory próżniowe nadają się do wszystkich zastosowań związanych z próżnią, przy czym wybór zaworu zależy od technologii uszczelnienia wymaganej dla określonych poziomów próżni:

  • Do zastosowań wymagających wysokiego podciśnienia firma Pfeiffer oferuje szeroką gamę zaworów zuszczelkami gumowymi i kołnierzami ISO-KF/ISO-K, zapewniających niezawodne osiągi podczas pracy.
  • W przypadku zastosowań wymagających bardzo wysokiej próżni najlepszym wyborem są zawory z metalowymi uszczelnieniami w obszarach mokrych i kołnierzami CF. Całkowicie metalowe zawory z całkowicie metalowymi uszczelkami są również dostępne do zastosowań w wysokich temperaturach.

Jakie uszczelnienia i mechanizmy uszczelniające są dostępne?

Decydującą rolę w wyborze odpowiedniego zaworu do systemu próżniowego odgrywają uszczelnienia i metody uszczelniania.

Ponieważ odporność termiczna i szybkość odgazowywania różnią się, wybór uszczelnień zależy ostatecznie od wymagań danego procesu. Obejmuje to niezbędną odporność termiczną i wymagany poziom próżni.

  • Uszczelki gumowe zapewniają niezawodne uszczelnienie w zastosowaniach wymagających wysokiego podciśnienia. Ich odporność termiczna zależy zarówno od materiału elastomerowego, jak i rodzaju napędu - dlatego niektóre zawory mają różne właściwości, które sprawiają, że są bardziej odpowiednie do określonych zastosowań.
  • Metalowe uszczelki nie wymagają elastomerów. Oznacza to, że charakteryzują się one bardzo niskim współczynnikiem odgazowywania i dlatego idealnie nadają się do zastosowań wymagających bardzo wysokiej próżni.

Jakie typy zaworów wysokiej próżni są dostępne?

Firma Pfeiffer oferuje szeroką gamę zaworów wysokiego podciśnienia spełniających różne potrzeby w zakresie instalacji i osiągów. Wybór odpowiedniego zaworu zależy od takich czynników, jak sekwencja procesu, temperatura procesu, maksymalna próżnia i skład gazu. Systemy wysoko- i bardzo wysokiej próżni wymagają zaworów, które łączą w sobie niezawodne uszczelnienie, wysoką przewodność i trwałość.

  • Zawory kątowe odwracają przepływ gazu o 90°, natomiast zawory liniowe z przeciwległymi kołnierzami łączącymi umożliwiają łatwą instalację w rurociągach prostych. Oba warianty mają zazwyczaj uszczelnienie mieszkowe.
  • Zawory suwakowe i zawory odcinające wahadłowe nadają się do zamkniętych przestrzeni i zapewniają niezakłócony przepływ gazu. Zostały zaprojektowane do pracy w wysokiej i bardzo wysokiej próżni i często otwierają się przy niskiej różnicy ciśnień. Są one idealnym wyborem do śluz lub montażu przed pompami próżniowymi.
  • Zawory kulowe mogą być również wykorzystywane w niektórych zastosowaniach wysokiego podciśnienia. Zoptymalizowane kosztowo konstrukcje KF wykazują wskaźniki nieszczelności wynoszące 10-6 mbar l/s i są odporne na temperatury do 80°C. Specjalne konstrukcje są odpowiednie dla zakresu wysokiego napięcia i wytrzymują temperatury do 150°C.