A 3004
Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen
Robust
Speziell entwickelt für sehr anspruchsvolle Prozesse, hohe Partikelverträglichkeit, hervorragende Korrosionsbeständigkeit
Zuverlässig
Längere Lebensdauer
Herausragende Leistung
Bestes Verdichtungsverhältnis dieser Klasse, niedrigste Leistungsaufnahme auf dem Markt
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Strippen/Veraschung
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Poly-Silizium-Ätzen
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Lichtinduzierte Abscheidung
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PECVD
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Lithografie
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Metall- & High-k-Ätzen
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Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
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ALD
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Glühen
Solar
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Zellproduktion