A 804-1804 XN
Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen
Robust
Perfekt geeignet für anspruchsvolle Halbleiter-Prozesse, Nickelbeschichtung für erhöhte Korrosionsbeständigkeit, optionale Auslegungen für Umgang mit Nebenproduktbildung
Zuverlässig
Längere Lebensdauer
Effizient
Hocheffiziente Motoren, begrenzter Einsatz von Elektroheizungen, kosteneffizient
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Molkereiprodukte
-
Käseherstellung – Vakuumkammern für Käse
-
Käseherstellung – Käsetürme
-
Butterherstellung
Halbleiter
-
Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
-
Strippen/Veraschung
-
PVD
-
Poly-Silizium-Ätzen
-
Lichtinduzierte Abscheidung
-
PECVD
-
Metall- & High-k-Ätzen
-
Oxid-Ätzen
-
Glühen