Chambres sous vide

Une chambre sous vide est un réservoir hermétiquement étanche dont l'air et les gaz sont évacués afin de créer un environnement à basse pression contrôlé.

Cela permet d’obtenir les conditions propres et stables requises pour des procédés tels que le revêtement à couche mince, la fabrication de semi-conducteurs, la simulation spatiale, la science analytique, et les expériences de recherche.

En fonction de leur conception, les chambres sous vide peuvent fournir des conditions de vide fin, de vide poussé ou d’ultravide (UHV). Elles sont généralement fabriquées en acier inoxydable ou dans d’autres matériaux tels que des alliages d’aluminium.

Il n'y a pas de différence : les termes réservoir de vide et chambre sous vide sont utilisés indifféremment pour décrire un réservoir hermétique dont les gaz et l'air ont été évacués afin de créer un environnement à basse pression.

Nos chambres sous vide sont disponibles pour les applications de vide fin, de vide poussé, et d'ultravide (UHV).

L'acier inoxydable est le matériau privilégié pour les chambres sous vide, car il est résistant à la corrosion, peut être soumis à un étuvage à haute température, et présente des taux de fuite et de perméation extrêmement faibles.

Divers traitements de surface et finitions peuvent être appliqués afin d’obtenir la propreté, la régularité, et la résistance chimique nécessaires dans une chambre sous vide, en fonction d’une application particulière.

Les imperfections mineures peuvent être éliminées par le sablage aux billes de verre, créant ainsi une surface uniforme. Le meulage est utilisé pour éliminer les irrégularités et obtenir une finition homogène. Des procédés chimiques tels que le trempage à l'acide et la passivation facilitent le nettoyage. Pour les applications UHV, l’électropolissage est utilisé pour obtenir une surface ultra-lisse et exempte de contaminants. Enfin, le nettoyage anodique permet de stabiliser davantage la surface et d’éliminer les contaminants.

Le choix du matériau dépend des exigences de l’application. L’acier inoxydable est idéal pour les applications UHV en raison de son faible dégazage et de sa capacité à résister à l’étuvage, tandis que l’aluminium est privilégié lorsqu’une chambre légère est nécessaire.

La conception d’une chambre sous ultravide nécessite généralement de prendre soigneusement en compte les aspects critiques suivants :

Les chambres sous vide peuvent être fabriquées dans diverses formes et géométries afin de s’adapter au procédé. Les conceptions standard comprennent des chambres cylindriques (horizontales ou verticales), cubiques et rectangulaires, disponibles en plusieurs diamètres et longueurs.

Pour les configurations spécialisées, nous créons également des géométries personnalisées. Cette flexibilité garantit un environnement de vide optimisé, qu’il s’agisse d’applications de semi-conducteurs, de revêtement, de simulation spatiale ou de recherche analytique.

Le dégazage correspond à la libération de gaz ou de vapeurs piégés provenant des matériaux à l'intérieur d'une chambre, ce qui peut limiter les niveaux de vide atteignables.

Les chambres sous vide de Pfeiffer sont généralement en acier inoxydable et peuvent être électropolies, passivées chimiquement et recuites sous vide pour minimiser le dégazage et garantir des performances stables à long terme.

Oui. Pfeiffer propose des solutions de chambre sous vide sur mesure, notamment des dimensions non standard, des alliages spéciaux, des portes de chambre transparentes, un système de refroidissement ou de chauffage par eau (plaque matelassée), des chemises de chauffage, un montage en salle blanche, ainsi que l'intégration avec des pompes à vide, des jauges, et des détecteurs de fuites de notre propre gamme.

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Une plaque matelassée pillow plate est une plaque entièrement soudée composée de deux tôles métalliques superposées, reliées par une soudure sur les bords et par un motif de points à l'intérieur. Après le soudage, la plaque est gonflée hydrauliquement afin de créer un espace creux entre les tôles, permettant ainsi la circulation d'un liquide de chauffage ou de refroidissement. Cette structure creuse et gonflée confère aux plaques matelassées légèreté, stabilité et durabilité.

Les plaques matelassées remplissent deux fonctions principales :

1. Elles permettent d'atteindre rapidement les conditions de vide requises, car elles garantissent une température optimale à l’intérieur de la chambre, et donc le respect de certaines conditions favorables.
Le chauffage des parois de la chambre accélère la désorption des gaz résiduels. Le refroidissement peut être utilisé pour réduire le dégazage et stabiliser les procédés une fois la pression de base atteinte.

2. Elles assurent une température stable et uniforme dans toute la chambre, minimisant ainsi l’effet de la température ambiante sur le procédé. Ceci est particulièrement important pour les applications sensibles à la température, telles que les procédés optiques. Cela contribue également à améliorer l’efficacité énergétique, car les fluctuations de température sont réduites et n’ont donc pas besoin d’être compensées.

Grâce à nos chambres sous vide de haute qualité destinées aussi bien à la production unitaire qu'à la production en série, nous proposons une technologie de vide sur mesure pour les applications exigeantes.

Pfeiffer assure l'ensemble du procédé d'un seul tenant, y compris le conseil en matière d'application, la conception, la fabrication, l'assurance qualité, le montage et le service sur site.

Principaux avantages de nos chambres sous vide :

Oui, les chambres sous vide de Pfeiffer sont fabriquées selon un système de qualité certifié. De plus, elles sont conformes aux normes internationales.

Aperçu de nos certifications :