Atualize seu navegador. Parece que você está usando uma versão antiga do navegador Microsoft Edge. Para obter a melhor experiência com o site da Pfeiffer, atualize seu navegador.

Por aqui
Contato Portal do Cliente
Brasil
pvweb_221_allapplicationmotifs_1200x675_001_shutterstock_383902150

Detecção de vazamentos para sistemas de vácuo

Manter a integridade do vácuo requer mais do que apenas identificar vazamentos – exige detecção e localização precisas de vazamentos. É aqui que entra a pulverização de hélio.

Como parte do arranque/ partida, manutenção ou reparos, é essencial garantir a qualidade e o desempenho.

Entre em contato

Pulverização de hélio para localização precisa de vazamentos

Em sistemas de vácuo grandes, mesmo pequenos vazamentos podem comprometer o desempenho, contaminar o processo ou atrasar as operações. Um teste de aumento ou queda de pressão muitas vezes indica que existe um vazamento – o próximo passo é detectar o local de forma rápida e confiável.

É aqui que a pulverização de hélio se torna essencial. Este método de detecção é altamente eficaz em uma ampla faixa de pressão e suporta testes qualitativos.

Como funciona a pulverização de hélio

  • Verificação inicial: execute um teste de aumento ou queda de pressão (também chamado de teste de vazamentos) para determinar o aperto. Realize o bake-out do sistema com antecedência para minimizar a desgaseificação de fundo.
  • Conecte o seu sistema de vácuo a um detector de vazamentos de hélio.
  • Pulverize hélio externamente em zonas suspeitas de vazamento, como selos, soldas, válvulas ou flanges.
  • Detecte vazamentos observando os picos do sinal do detector à medida que o hélio entra no sistema.
Como ele localiza, em vez de apenas confirmar a existência de vazamentos, a pulverização de hélio transforma um "detector de vazamentos" em um verdadeiro localizador de vazamentos.
Christian Burger, Gerente de Mercado na Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
  • leak_localization

  • getMedia
  • test
    getMedia

  • getMedia

Princípio de operação

Aplicações

Produtos correspondentes

Aplicações que dependem da detecção de vazamento de vácuo

A pulverização de hélio é um método essencial de teste de vazamento em uma ampla gama de aplicações industriais – desde a fabricação de semicondutores até ambientes de pesquisa de vácuo ultra-alto (UHV).

Desafios na fabricação de semicondutores

  • Contaminação por vazamentos de gás ou microvazamentos
  • Tempo de inatividade em ambientes de produção 24/7
  • Envelhecimento dos o-rings devido a ciclos térmicos

Desafios na construção de sistemas

  • Segurança do trabalhador em espaços confinados cheios de gás
  • Danos relacionados ao aquecimento durante os ciclos de tratamento
  • Dificuldade em localizar vazamentos em sistemas conectados complexos

Desafios em ambientes UHV

  • Alcançar e manter níveis de pressão extremamente baixos
  • Detectar pequenos vazamentos em sistemas com muitas juntas
  • Prevenir a contaminação em ambientes ultralimpos

Fabricação de semicondutores

Em ferramentas de semicondutores manter a integridade do vácuo é fundamental – especialmente em sistemas conectados usados para deposição, litografia, ou gravação.

Esses processos de vácuo funcionam continuamente sob condições térmicas e mecânicas adversas.

O que a pulverização de hélio oferece para a indústria de semicondutores:

  • Localização rápida e em tempo real do vazamento durante a operação contínua
  • Alta sensibilidade para detectar microvazamentos antes que ocorram danos
  • Confiança em manter a estabilidade no processo e a qualidade do produto

Esta abordagem é especialmente valiosa em programas de manutenção preditiva para sistemas de vácuo grandes operando em ambientes de alto rendimento.


Produtos correspondentes

Veja como a detecção de vazamentos apoia o tempo de atividade de semicondutores
pvweb_221_allindustries_1200x675_v02_1_semi_sv

(por ex., fornos a vácuo ou revestidores)

Construção de sistemas

Após a montagem ou manutenção, mesmo pequenos erros na vedação do componente podem levar a grandes problemas – especialmente ao lidar com gases reativos ou perigosos como argônio ou cloro.

Frequentemente ocorrem vazamentos em junções onde válvulas, ferramentas ou equipamentos específicos do processo estão integrados ao sistema.

Como os detectores de vazamentos de hélio ajudam na construção de sistemas:

  • Garantia da segurança e prevenção da exposição ao gás
  • Localização rápida de vazamentos para reparos mais rápidos
  • Manutenção da qualidade do produto e prevenção de oxidação ou defeitos
Produtos correspondentes
pvweb_224_leak_detection_of_systems_spraying_uhv_chamber_2

Ambientes de vácuo ultra-alto (UHV)

Em sistemas de vácuo ultra-alto (UHV) operando a 10⁻⁷ hPa (mbar) e abaixo, até mesmo o menor vazamento em flanges ou componentes soldados pode interromper experimentos, atrasar resultados ou danificar equipamentos sensíveis.

Por que a pulverização de hélio é crucial em UHV:

  • Permite a detecção precisa de vazamentos em sistemas complexos e vedados hermeticamente
  • Suporta os rigorosos requisitos de estanqueidade necessários para alcançar níveis de vácuo ultra-alto (UHV)
  • Ajuda a manter condições limpas em configurações sensíveis como aceleradores, microscópios de elétrons e câmaras de revestimento
Produtos correspondentes
uhv_chamber

Detectores de vazamentos de hélio da Pfeiffer

Encontre a solução certa para o seu sistema.

Ambientes diferentes exigem soluções diferentes – desde unidades de manutenção compactas até linhas de alto rendimento totalmente integradas. Os detectores de vazamentos usam espectrometria de massa de hélio – mas diferem em tamanho, mobilidade, rendimento e configuração da bomba de vácuo:

  • Integração flexível do sistema com a opção de escolher entre várias bombas de apoio (a seco, lubrificada a óleo ou externa) para diferentes taxas de vazamento e volumes de câmara (ASM 340)
  • Modelos compactos e portáteis ideais para serviço móvel, P&D ou espaços apertados (ASM 310)
  • Modelos de alto rendimento com velocidade máxima de bombeamento de hélio para estabilização rápida em ambientes de sala limpa e ambientes 24/7 (ASM 390/392)
  • Ferramentas e acessórios dedicados ajudam a adaptar seu detector de vazamentos às mudanças de condições e fluxos de trabalho. Desde conjuntos de pulverização de hélio até carros de transporte – tudo para otimizar sua configuração de teste

Comparar produtos correspondentes
  • leak_detector_asm_340

    ASM 340

  • asm_310_leak_detector

    ASM 310

  • asm_390_392_leak_detector

    ASM 390/392

  • getMedia
  • getMedia
  • getMedia
  • test
    getMedia

    ASM 340

  • test
    getMedia

    ASM 310

  • test
    getMedia

    ASM 390/392

  • getMedia
  • getMedia
  • getMedia

Webinars especializados: insights para melhorar sua detecção de vazamentos para sistemas de vácuo

Become a Leak Detective: Pro Tips for Vacuum System Leak Detection

Become a Leak Detective: Pro Tips for Vacuum System Leak Detection

Ready to master leak detection in vacuum systems? Learn more about the basic methods and how to apply them efficiently in your daily work!

Leia mais
How to Optimize Cycle Times in Automotive Leak Detection!

How to Optimize Cycle Times in Automotive Leak Detection!

Best practices how to improve your leak detection system with regards to cycle time reduction and process reliability.

Leia mais
​Spice Up Your Leak Detection Recipe for Fuel Cells

​Spice Up Your Leak Detection Recipe for Fuel Cells

​​Learn how to choose the right leak detection method, develop pass/fail criteria and implement an industrial solution for your bipolar plate test.

Leia mais
Future-Proof Leak Detection Systems for Automotive Industry

Future-Proof Leak Detection Systems for Automotive Industry

How to optimize your leak detection system to not only meet the process requirements of your customers but to keep investments as low as possible.

Leia mais
Outdated to Optimized – Upgrade Your Coater or Vacuum Furnace

Outdated to Optimized – Upgrade Your Coater or Vacuum Furnace

Learn how targeted upgrades to vacuum equipment for coaters can boost efficiency, cut costs, and enhance quality – without replacing your entire setup.

Leia mais
Leak Testing of Hermetically Sealed Objects – Revealing the Secrets

Leak Testing of Hermetically Sealed Objects – Revealing the Secrets

Leak testing of hermetically sealed components has several secrets to performing and evaluating the measurements – we will reveal them!

Leia mais
Hidden Leaks, Hidden Costs: Detect Leaks and Save Money

Hidden Leaks, Hidden Costs: Detect Leaks and Save Money

Learn how to identify leaks, understand their multiple impacts and calculate their costs. Our experts will share real-life examples with you.

Leia mais
5 Ways to (Not) Destroy Your Leak Detector

5 Ways to (Not) Destroy Your Leak Detector

​What are the parts that make up a leak detector and what do you have to bear in mind when using it?

Leia mais
​Helium Spraying Demystified: Your Leak Test Questions Answered

​Helium Spraying Demystified: Your Leak Test Questions Answered

Learn more about best practice using a leak detector in a spray test of a vacuum system. Use of accessories and auxiliary pumps is demonstrated.

Leia mais

Entendendo os vazamentos e conceitos básicos

O que causa vazamentos em sistemas de vácuo?

Os vazamentos podem resultar de:

  • O-rings danificados
  • Rachaduras ou corrosão em flanges, válvula ou soldas
  • Instalação ou reparo inadequados de componentes ou equipamentos de vácuo
  • Vazamentos virtuais causado por gases presos ou materiais porosos

O que é um vazamento virtual?

Um vazamento virtual ocorre quando gases presos (geralmente vapor de água) são liberados lentamente de cavidades como roscas de parafuso ou materiais porosos. Embora não seja uma violação real, esta desgaseificação pode simular um vazamento.

Esses vazamentos podem ser difíceis de detectar sob condições de pressão parcial e requerem métodos altamente sensíveis para a detecção de vazamentos. Detectores de vazamentos de hélio de alta precisão ou monitoramento avançado são necessários para identificá-los.

É possível usar o WD-40 na detecção de vazamentos em sistemas de vácuo?

Não. O WD-40 deixa resíduos oleosos e contaminantes em ambientes de vácuo, especialmente abaixo de 1×10⁻³ hPa. Em vez disso, use isopropanol ou outros líquidos à base de álcool – eles evaporam de forma limpa e vedam temporariamente o vazamento, indicando sua localização.

Por que o hélio é comumente usado para a detecção de vazamentos?

O hélio é o gás traçador preferido usado em vários métodos de teste de vazamento, especialmente em ambientes de vácuo.

Aqui estão os motivos para isso:

  • Inerte e não reativo
  • Extremamente pequeno em tamanho atômico, ideal para microvazamentos
  • Raro no ar (~5 ppm), permitindo alta sensibilidade
  • Não tóxico e ecológico


No entanto, o manuseio incorreto pode levar a contaminação de fundo e falsos positivos.

Sempre:

  • Evite pulverizar hélio em excesso
  • Ventile a mangueira de pulverização antes do teste
  • Aplique hélio suavemente e com precisão em pontos suspeitos

Prevenção e gerenciamento de vazamentos

Como posso prevenir vazamentos no meu sistema de vácuo?

  • Use materiais adequados à sua pressão
  • Minimize juntas, dobras e volumes mortos no projeto
  • Manuseie as peças com cuidado durante a instalação
  • Realize inspeção visual regular de componentes críticos no sistema de vácuo
  • Execute bake-outs para remover a umidade e os gases retidos

O que devo considerar ao selecionar um detector de vazamentos e preparar o sistema para um teste de vazamento pequeno?

  • Escolha o método: entre vários métodos, você precisa escolher o que se adapta melhor com base na pressão do sistema e na taxa de vazamento alvo.
  • Especificações do detector: tempo de resposta rápido, alta sensibilidade.
  • Fatores de precisão: evite vazamentos virtuais, garanta boa condutância.
  • Limpeza: faça a limpeza prévia das câmaras e seque-as, se necessário.
  • Segurança: peças ou procedimentos defeituosos podem comprometer a segurança do operador e do produto.
  • Documente e gerencie cuidadosamente as informações coletadas para rastreabilidade.

Suporte especializado: não tem certeza de qual configuração é a mais adequada para você?
Envie uma solicitação ou visite nossos serviços de teste de vazamento para obter orientações práticas.

Como posso coletar e documentar os resultados do teste do meu detector de vazamentos?

Os detectores de vazamento de hélio modernos (por ex., séries ASM) suportam:

  • Registro de dados digital
  • Exportação USB ou Ethernet
  • Diagnósticos integrados e relatórios de fácil auditoria

Métodos de detecção de vazamentos de hélio e melhores práticas

Quão preciso é o método de pulverização?

Entre os métodos de teste de vazamentos disponíveis, a pulverização de hélio fornece precisão suficiente para detectar os vazamentos mais relevantes. A pulverização de hélio se destina à localização, não à medição de taxa absoluta. Ela detecta vazamentos até aprox. 10⁻⁷ a 10⁻⁹ mbar∙l/s – sendo adequada para a maioria das aplicações de vácuo.

Vantagens:

  • Funciona durante a operação real do sistema
  • Ideal após o aumento de pressão/testes de vazamento
  • Encontra rapidamente vazamentos que afetam a segurança ou o desempenho

Pulverização vs. teste de olfato: o que é melhor para a detecção de vazamentos de vácuo?

A pulverização e o teste de olfato de hélio são apenas dois entre os diversos métodos no teste de vazamento de vácuo. A escolha depende das condições de pressão e se o sistema está sob vácuo ou cheio de ar.

 
Pulverização de hélio
Teste de olfato de hélio
Fluxo de hélio
Fora → dentro
Dentro → fora
Caso de uso
Vácuo na câmara
Câmara pressurizada
Quantidade de hélio
Pequena, controlada
Pressurização máxima

A maioria dos detectores suporta ambos os modos. Para a detecção de vazamentos de vácuo, a pulverização continua sendo a abordagem mais eficiente e econômica.

O que afeta o tempo de resposta em testes de pulverização?

Em sistemas grandes, o hélio pode levar tempo para percorrer o caminho do vazamento. Otimizar é possível:

  • Usando conexões curtas e largas
  • Garantindo boa condutância
  • Minimizando a resistência externa ao fluxo da bomba de vácuo (configurações de fluxo parcial podem reduzir a força do sinal)

Vazamentos em componentes conectados ou sob pressão parcial podem exigir uma estabilização mais longa.

Posso usar alternativas para detectar vazamentos ou entrada de ar?

Sim, especialmente ao detectar vazamentos causados pela entrada de ar ou outros gases, métodos alternativos como espectrômetros de massa quadrupolos (QMS) fornecem precisão adicional.

Os QMS podem detectar gases como nitrogênio, vapor de água ou argônio. Úteis em ambientes de diagnóstico, farmacêutico e de P&D, eles analisam vazamentos através da relação massa-carga.

Uso prático e configuração de detectores de vazamentos

Como posso ajustar corretamente a pistola de pulverização de hélio?

  • Defina um fluxo suave e controlado – apenas o suficiente para criar pequenas bolhas na água
  • Purgue qualquer hélio acumulado na mangueira longe do objeto de teste antes de iniciar
  • Busque apenas pontos de vazamento prováveis (flanges, o-rings, soldas)
  • Evite grandes liberações de gás que possam desencadear leituras falsas

Escolher o detector de vazamentos de hélio certo para a pulverização

Sua escolha deve refletir seus requisitos de configuração – incluindo mobilidade, tempo de resposta, velocidade de bombeamento e flexibilidade de integração:

  • ASM 340:uma plataforma versátil projetada para qualificação do sistema e configurações de tamanho médio. Oferece alta velocidade de bombeamento de hélio e pode ser equipada com uma variedade de bombas de apoio – a seco, lubrificadas a óleo ou externas – para corresponder a diferentes tamanhos de câmara e requisitos de taxa de vazamento.
  • ASM 310:uma solução compacta e leve otimizada para serviço, P&D e espaços apertados. Oferece operação multiposição, fácil manuseio e uma interface removível de tela sensível ao toque. Melhor adequado para configurações móveis ou flexíveis onde a portabilidade e a implementação rápida são essenciais.
  • ASM 390 / 392: projetados para uso em sala limpa e operações de alto rendimento 24 horas por dia, 7 dias por semana, esses modelos oferecem a mais alta velocidade de bombeamento de hélio do portfólio. Ideal para processos sensíveis ao tempo que exigem estabilização rápida, como a produção de semicondutores ou estações automatizadas de controle de qualidade.

Todos os modelos suportam tanto os modos de pulverização de hélio quanto teste de olfato e podem ser adaptados a diferentes ambientes. Entre em contato conosco para configurar a solução de detecção de vazamentos mais adequada para o seu sistema de vácuo.

Quais acessórios ajudam a otimizar o teste de vazamento de hélio?

As ferramentas certas podem tornar a detecção de vazamentos de hélio mais precisa e eficiente.

Os principais acessórios incluem:

  • HeliSpray: uma unidade de pulverização recarregável para aplicação precisa de hélio em vedações, válvulas e soldas.
  • Pistolas de pulverização de baixo fluxo: garantem a liberação controlada de hélio, reduzindo falsos sinais e melhorando a precisão da detecção.
  • Carros e caixas de transporte: protegem e mobilizam seus detectores de vazamentos e componentes sensíveis.
  • Carrinhos modulares: ideais para configurações de teste flexíveis em laboratórios ou ambientes de produção.

Estes acessórios ajudam a melhorar os resultados dos testes, suportam o manuseio seguro e tornam sua configuração de teste de vazamentos mais adaptável.