Silenciosa
Baixos níveis de ruído e vibração, perfeitamente adequados para aplicações sensíveis à vibração em instrumentos analíticos e processos de fabricação de semicondutores
Flexível
Compatível com uma variedade de bombas de apoio, versão MT com sistema de aquecimento integrado para condições químicas exigentes, motor de corrente contínua (CC) controlado por frequência
Sem manutenção
Sem peças de desgaste graças à tecnologia de rolamento magnético, redução da contaminação por partículas ou acúmulo de resíduos na versão MT
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Indústria de automóveis e transporte
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Pesquisa Espacial
Display
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Deposição física de vapor (PVD)
Área médica
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Diagnóstico por imagem
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Acelerador Médico
P&D
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Física de alta energia
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Pesquisa fotônica
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Pesquisa Espacial
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Vácuo ultra-alto
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Física do plasma
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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PVD
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Inspeção e Metrologia
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Poli etch Si
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Deposição leve
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Implantação de íons
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PECVD
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Litografia
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Decapagem de metal e alto K
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Gravação por óxido
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Bloqueio e transferência de carga
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Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
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ALD
Solar
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Fabricação de células
Revestimento de camada fina
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Revestimento ótico
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Revestimento decorativo
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Revestimento de laboratório
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Revestimento de vidro
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Revestimento de proteção contra desgaste