ATH-M / ATP-M

A tecnologia de rolamento magnético nas séries ATH-M e ATP-M utiliza eletromagnetismo e um elaborado sistema de controle eletrônico para manter o rotor em suspensão e permitir a rotação sem contato físico com a carcaça da bomba de vácuo. Isso elimina a fricção, evitando o desgaste e tornando essas turbobombas sem manutenção.

A fricção mecânica minimizada também resulta em baixos níveis de ruído e vibração. Isso torna as turbobombas ATH-M e ATP-M ideais para aplicações sensíveis a vibrações em processos de fabricação de semicondutores.

Adicionalmente, em caso de falha de energia, os rolamentos magnéticos são alimentados com eletricidade gerada pela energia rotacional da bomba de vácuo. Isso permite que falhas de energia sejam facilmente superadas por vários minutos.

Os rotores das nossas bombas de vácuo turbomoleculares são acionados por motores de corrente contínua (CC) controlados por frequência. Eles podem regular a velocidade de rotação dos rotores para adaptá-lo ao nível de vácuo desejado, ajudando a economizar energia e custos. Na última geração de bombas ATH-M e ATP-M, a unidade de acionamento está integrada à bomba de vácuo, garantindo um tamanho pequeno.

Algumas turbobombas ATH-M são equipadas com um sistema de aquecimento integrado, ajudando a manter o desempenho da bomba de vácuo em condições químicas exigentes. Este recurso é particularmente benéfico em aplicações como deposição química por vapor (CVD), onde as reações químicas podem produzir subprodutos que tendem a condensar dentro do sistema de vácuo. O aquecimento integrado mantém a bomba de vácuo a uma temperatura constantemente elevada, reduzindo o risco de condensação e acúmulo de resíduos.