Silenciosa
Baixos níveis de ruído e vibração, perfeitamente adequados para aplicações sensíveis à vibração em instrumentos analíticos e processos de fabricação de semicondutores
Flexível
Compatível com uma variedade de bomba de apoio, excelente relação de compressão para gases leves
Sem manutenção
Sem peças de desgaste graças à tecnologia de rolamento magnético, longo intervalo de manutenção
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Indústria de automóveis e transporte
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Pesquisa Espacial
Display
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Deposição física de vapor (PVD)
P&D
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Física de alta energia
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Pesquisa fotônica
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Pesquisa Espacial
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Vácuo ultra-alto
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Física do plasma
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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PVD
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Inspeção e Metrologia
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Poli etch Si
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Deposição leve
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Implantação de íons
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PECVD
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Litografia
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Decapagem de metal e alto K
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Gravação por óxido
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Bloqueio e transferência de carga
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Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
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ALD