Silenciosa
Baixos níveis de ruído e vibração, perfeitamente adequados para aplicações sensíveis à vibração em instrumentos analíticos e processos de fabricação de semicondutores
Flexível
Compatível com uma variedade de bombas de apoio, versão MT com sistema de aquecimento integrado para condições químicas exigentes, motor de corrente contínua (CC) controlado por frequência
Compacta
Tamanho compacto, unidade de acionamento integrada, instalação em qualquer orientação
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Área médica
-
Diagnóstico por imagem
-
Acelerador Médico
P&D
-
Pesquisa fotônica
Semicondutor
-
LPCVD / Difusão
-
PVD
-
Inspeção e Metrologia
-
Poli etch Si
-
Deposição leve
-
Implantação de íons
-
PECVD
-
Litografia
-
Decapagem de metal e alto K
-
Gravação por óxido
-
Bloqueio e transferência de carga
-
Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
-
ALD
Acessórios
- Instalação
- Válvula de água de resfriamento
- Válvula de purga
- Kit de refrigeração a ar
- Controle Remoto
- Fonte de alimentação 48 DVC
- Proteção de entrada
- Cabo e bobina da válvula
- Vários tipos de flange de entrada
- Várias interfaces de usuário
- Sistema de gerenciamento de temperatura para processo corrosivo