Alta temperatura e fluxo
Ampla faixa de processo, alta resistência à corrosão
Autodiagnóstico
Sensor integrado para diagnósticos de desempenho, otimizações de manutenção e comunicações externas
Econômica
Gerenciamento de temperatura otimizado, baixo consumo de energia e de água de resfriamento, baixo custo de propriedade
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Display
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Deposição física de vapor (PVD)
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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PVD
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Inspeção e Metrologia
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Poli etch Si
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Deposição leve
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Implantação de íons
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PECVD
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Litografia
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Decapagem de metal e alto K
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Gravação por óxido
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Bloqueio e transferência de carga
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Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
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ALD
Revestimento de camada fina
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Revestimento ótico
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Revestimento decorativo
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Revestimento de proteção contra desgaste
Acessórios
- Válvula protetora de purga de gás de vedação
- Válvula de água de resfriamento
- Controle remoto portátil
- Filtro de proteção para flange de entrada
- Kit de montagem
- Flanges de entrada: VG350 ou VG400
- Flanges de exaustão: DN40 ou DN50
- Várias opções de aquecimento
- Purga média adicional para processos difíceis
- Sensor de temperatura do rotor
- Sensor de presença de purga
- Potência de entrada: 200, 440 ou 480 VCA