Silenciosa
Baixos níveis de ruído e vibração, perfeitamente adequados para aplicações sensíveis à vibração em instrumentos analíticos e processos de fabricação de semicondutores
Flexível
Compatível com uma variedade de bomba de apoio, versão MT com sistema de aquecimento integrado para condições químicas exigentes, melhor consumo da água de resfriamento
Sem manutenção
Sem peças de desgaste graças à tecnologia de rolamento magnético, redução da contaminação por partículas ou acúmulo de resíduos na versão MT
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Indústria de automóveis e transporte
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Pesquisa Espacial
Display
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Deposição física de vapor (PVD)
P&D
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Pesquisa fotônica
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Pesquisa Espacial
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Vácuo ultra-alto
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Física do plasma
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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PVD
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Inspeção e Metrologia
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Poli etch Si
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Deposição leve
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Implantação de íons
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PECVD
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Litografia
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Decapagem de metal e alto K
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Gravação por óxido
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Bloqueio e transferência de carga
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Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
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ALD
Solar
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Fabricação de células
Revestimento de camada fina
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Revestimento ótico
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Revestimento decorativo
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Revestimento de vidro
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Revestimento de proteção contra desgaste