Alto desempenho
Design avançado do parafuso, construção em forma de sino, parafusos de autobalanceamento patenteados, qualidades excelentes de execução, ideais para tarefas em load lock e câmaras de transferência, metrologia, litografia, deposição física de vapor e anelamento térmico rápido
Eficiente
Acionamento de velocidade variável inteligente, baixo custo de aquisição, manutenção mínima, alta disponibilidade, refrigeração a água direta
Compactos
Design de perfeito encaixe, motor blindado montado diretamente, painel de controle integrado
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Semicondutor
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Descascamento/cinzenteamento
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Poli etch Si
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Implantação de íons
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Gravação por óxido
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Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT