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Série de produtos | Capacidade nominal de bombeamento |
|---|---|
COBRA BC | 100 m3/h – 1,580 m3/h |
COBRA DS | 70 m3/h – 6,000 m3/h |
Uma bomba de vácuo de parafuso a seco oferece alta velocidade de bombeamento e geração de vácuo livre de contaminação. Esses benefícios o tornam um componente essencial para a fabricação de semicondutores. O princípio de funcionamento de uma bomba de vácuo de parafuso a seco pode ser explicado em três etapas:
1. Entrada:
As bombas de vácuo de parafuso a seco da Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions são operadas nas principais fábricas de semicondutores. Seu princípio de operação baseado na nossa inovadora tecnologia de parafuso as torna perfeitas para vários processos nesta indústria. Os vários recursos e benefícios principais são:
1. Requisitos de baixa manutenção: as bombas de vácuo de parafuso operam sem contato durante a compressão. Isso significa que os rotores de parafuso não entram em contato um com o outro nem com o alojamento da bomba. Isso minimiza o desgaste e as necessidades de manutenção, garantindo uma alta disponibilidade.
2. Operação sem óleo: As bombas de vácuo a seco não necessitam de fluidos de operação na câmara de compressão. A geração de vácuo limpo é crucial em aplicações para semicondutores onde a contaminação deve ser evitada para garantir a mais alta precisão e qualidade do produto.
3. Controle de temperatura: As bombas de vácuo de parafuso a seco são equipadas com um sistema eficiente resfriado a água. Esse recurso permite uma distribuição uniforme da temperatura em todo o corpo da bomba e evita o superaquecimento. O calor da compressão é espalhado por todo o corpo da bomba, garantindo assim a estabilidade térmica nos processos de fabricação de semicondutores. Um benefício potencial dessa estabilidade é evitar que os gases do processo se condensem dentro da bomba de vácuo, o que reduz o risco de contaminação.
4. Alta velocidade de bombeamento e produtividade: As bombas de vácuo de parafuso a seco oferecem excelentes qualidades de funcionamento, alta velocidade de bombeamento e grande produtividade. Estes são necessários para várias aplicações de semicondutores, de câmaras de bloqueio de carga até processos geradores de partículas, como a gravação de metal.
5. Adaptabilidade a gases agressivos: A fabricação de semicondutores inclui aplicações como a gravação. Esses processos dependem de gases tóxicos, como o cloro. As bombas de vácuo de parafuso podem lidar com esses gases com eficácia, graças à sua fundição em peça única. Isso evita qualquer folga e torna impossível que esses gases cheguem ao interior da bomba. Consequentemente, a corrosão é evitada.
6. Baixo nível de ruído: Devido ao seu design patenteado de parafuso autoequilibrante, essas bombas de vácuo garantem uma baixa vibração e operação silenciosa. Baixos níveis de ruído são essenciais para os processos sensíveis envolvidos na fabricação de semicondutores.
Todos esses recursos tornam as bombas de vácuo de parafuso a seco como as da série COBRA Semicon da Pfeiffer uma solução confiável para todos os tipos de aplicações na fabricação de semicondutores. Elas oferecem uma performance do vácuo potente, com eficiência energética e livre de contaminação.
Sim, as bombas de vácuo de parafuso são altamente compatíveis com sistemas de semicondutores modernos. Elas são projetadas para lidar com os requisitos exigentes das aplicações de semicondutores, como metrologia, litografia e processamento entre flanges.
As bombas de vácuo de parafuso, como a COBRA Semicon da Pfeiffer, oferecem alta eficiência, baixo consumo de energia e alta tolerância a vapor e partículas. Todos esses benefícios tornam as bombas de vácuo de parafuso perfeitas para aplicações de semicondutores. Sua compressão sem óleo garante a geração de vácuo sem contaminação. Esse ambiente limpo é essencial para manter a pureza necessária nas fábricas de semicondutores.
Vários fatores devem ser levados em consideração ao selecionar a solução de vácuo certa para aplicações de semicondutores. Esses fatores variam dependendo dos processos específicos envolvidos, como o manuseio entre flanges, CVD ou ALD.
Entre em contato conosco para discutir qual solução de vácuo melhor se adapta às suas necessidades. Nossos especialistas estão prontos para ajudá-lo!
Para outras aplicações industriais, as bombas de vácuo de parafuso da Busch Vacuum Solutions fornecem geração de vácuo confiável e eficiente. Visite Busch Vacuum Solutions para saber mais.
Explore nossas matérias de conhecimento, treinamentos e webinars para expandir sua experiência. Para obter informações mais detalhadas sobre a tecnologia de parafuso, consulte nosso Livro sobre a Tecnologia de Vácuo.
