- Design avançado do parafuso
- Princípio de operação a seco e sem contato
- Design de “rolamento flutuante” exclusivo
- Construção em cantiléver
- Design compacto de perfeito encaixe
- Refrigeração a água direta
- Protocolo de comunicação totalmente aberto
COBRA Semicon
Bombas de vácuo de parafuso a seco
O princípio de operação da bomba de vácuo COBRA Semicon é baseado na tecnologia de parafuso de última geração. Com seus parafusos de autobalanceamento patenteados, elas estabelecem novos padrões em termos de eficiência e confiabilidade para a fabricação de semicondutores.
As bombas de vácuo COBRA Semicon combinam grandes rendimentos com uma alta tolerância ao vapor e partículas. Desse modo, meios carregados com partículas podem ser evacuados sem problemas. O princípio de operação sem óleo e sem contato garante baixas exigências de manutenção, baixos custos operacionais e um longo ciclo de vida.
Descubra a nossa série COBRA Semicon
COBRA BC
A solução ideal para aplicações leves a médias de semicondutor
Vantagens da série COBRA BC
As bombas de vácuo de parafuso a seco COBRA BC são ideais para tarefas na fabricação de semicondutores, especialmente em câmaras de bloqueio de carga e câmaras de transferência. Outras aplicações incluem a metrologia, litografia, deposição física de vapor (PVD), anelamento térmico rápido (RTA) e gravação em silício.
O design dos parafusos de autobalanceamento patenteados garante os menores níveis de vibração e operação silenciosa.
Os rotores de parafuso das bombas de vácuo COBRA BC são fabricados a partir da fundição de peça única evitando qualquer tipo de folga. Isso torna impossível a entrada de fluidos ou partículas do processo. Desse modo, a corrosão e a deposição são evitadas.
As bombas de vácuo COBRA BC contam com uma construção em cantiléver em forma de sino: o rotor duplo com parafusos de passo variável é montado apenas no lado do motor. Graças ao design exclusivo de “rolamento flutuante”, os rolamentos de entrada são desnecessários. Assim, o meio bombeado não entra em contato com os rolamentos. Isso garante a geração limpa de vácuo e permite a recuperação total do meio bombeado.
As bombas de vácuo da série COBRA BC usam refrigeração a água direta eficiente. Assim, é mantida uma distribuição de temperatura uniforme pelo corpo da bomba. Além disso, é garantida também a estabilidade térmica durante o processo.
O protocolo de comunicação totalmente aberto (Modbus TCP-IP) permite controlar todos os recursos. Isso inclui os modos de inatividade e o variador de velocidade. O protocolo de comunicação pode ser facilmente adaptado a um protocolo de rede específico, usando componentes de interface padrão.
Um motor blindado, montado diretamente permite que as dimensões da série COBRA BC sejam muito compactas. Devido ao seu design de perfeito encaixe, elas podem ser instaladas posteriormente em sistemas existentes de forma rápida e fácil.
COBRA DS
A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes na fabricação de semicondutores
- Design avançado do parafuso
- Princípio de operação a seco e sem contato
- Manuseio excelente de pó
- Refrigeração a água indireta e eficiente
- Design compacto de perfeito encaixe
- Alta velocidade de bombeamento para a descarga de hidrogênio
- Motor altamente eficiente
- Tamanhos com acelerador de vácuo integrado disponível
Vantagens da série COBRA DS
As bombas de vácuo de parafuso a seco COBRA DS são os geradores de vácuo ideais para aplicações exigentes de semicondutores, particularmente onde é necessário alto rendimento de hidrogênio. Por isso, elas são perfeitas para a deposição química de vapor (CVD), processamento térmico rápido (RTP) ou deposição por camada atômica (ALD).
Vários tamanhos da série COBRA DS contam com um acelerador de vácuo integrado de alto desempenho. Esta combinação de bomba de apoio e acelerador de vácuo atinge velocidades de bombeamento e pressões finais mais altas.
O design de parafuso de autobalanceamento da bomba de vácuo é uma inovação patenteada. Esse recurso garante excelente manuseio de pó e alta disponibilidade.
Os rotores de parafuso das bombas de vácuo COBRA DS são fabricados a partir da fundição de peça única evitando qualquer tipo de folga. Isso torna impossível a entrada de fluidos ou partículas do processo. Desse modo, a corrosão e a deposição são evitadas.
As bombas de vácuo da série COBRA DS usam refrigeração a água indireta e eficiente. Como resultado, a distribuição de temperatura pelo corpo da bomba pode ser controlada. Uma resposta a variações do processo é possível a qualquer momento.
Devido ao design de encaixe perfeito, a COBRA DS pode ser instalada posteriormente em sistemas existentes de maneira rápida e fácil.
