Alto desempenho
Design avançado do parafuso, excelentes qualidades de execução, acelerador de vácuo integrado, ideais para deposição química de vapor, processamento térmico rápido ou deposição de camada atômica
Eficiente
Baixo custo de aquisição, manutenção mínima, intervalos longos de serviço, alta disponibilidade, refrigeração a água eficiente e indireta, alto rendimento de hidrogênio
Compactos
Design de perfeito encaixe, motor blindado montado diretamente, bomba de apoio e acelerador de vácuo combinados em uma base estrutural compacta
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Display
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Câmaras de bloqueio de carga
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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Aplicações de alto fluxo
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Poli etch Si
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PECVD
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Decapagem de metal e alto K
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ALD
Solar
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Fabricação de células