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DS 1200/1800 A/A X

Bombas de vácuo de parafuso a seco

Ou ligue diretamente para nós: +55 11 4016 8282

Alto desempenho

Design avançado do parafuso, qualidades excelentes de execução, acelerador de vácuo integrado, ideal para aplicações de painel solar e plano e de semicondutores e processos em ambientes agressivos, com altas temperaturas de gás, como corrosão e CVD, excelente manuseio de pó, parafuso revestido em tântalo para aplicações pesadas

Eficiente

Baixo custo de aquisição, manutenção mínima, longos intervalos de serviço, alta disponibilidade, alto rendimento de hidrogênio, baixo consumo de energia, controle de temperatura variável

Compactos

Design de perfeito encaixe, motor blindado montado diretamente, bomba de apoio e acelerador de vácuo combinados em uma base estrutural compacta, baixo nível de vibração

Especificações técnicas

Mercados e aplicações

Display
  • Deposição física de vapor (PVD)
Semicondutor
  • LPCVD / Difusão
  • Poli etch Si
  • PECVD
  • Decapagem de metal e alto K
  • Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
  • ALD
  • Anelamento
Solar
  • Extração de lingotes