Alto desempenho
Design avançado do parafuso, excelentes qualidades de execução, ideais para deposição química de vapor, processamento térmico rápido ou deposição de camada atômica
Eficiente
Baixo custo de aquisição, manutenção mínima, intervalos longos de serviço, alta disponibilidade, refrigeração a água eficiente e indireta, alto rendimento de hidrogênio
Compactos
Design de perfeito encaixe, motor blindado montado diretamente
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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Poli etch Si
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PECVD
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Decapagem de metal e alto K
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ALD