- Eficiente
- Manutenção fácil
- Robusto
Tratamento de gás úmido
Durante muitos processos de fabricação, são produzidas substâncias nocivas que, sem intervenção, seriam liberadas com o gás residual. A purificação úmida permite que as substâncias solúveis em água sejam purificadas e ligadas ao líquido de lavagem, após o que podem ser descartadas com segurança. Nossas séries de produtos CT-W oferecem a solução de purificação úmida certa para cada aplicação em vários setores. Da fabricação de semicondutores à produção de LEDs e fotovoltaica, bem como em universidades e outras instituições de pesquisa.
Vantagens
Alta eficiência com duas fases úmidas
Remoção eficiente de gases e partículas solúveis em água
Neutralização interna para minimizar o consumo de água doce
Conheça nossos purificadores úmidos
Purificador úmido CT-W (ponto de uso)
Vantagens do CT-W (ponto de uso)
O CT-W oferece tratamento eficiente de HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4 e NH3 juntamente com outros gases residuais ácidos e alcalinos em aplicações como gravação e epitaxia. Por utilizar o mínimo de água doce em seu processo, os custos operacionais são mantidos baixos.
Este purificador é flexível e pode ser operado usando agentes neutralizantes ácidos ou alcalinos. Eles servem para neutralizar as águas residuais, cujo pH é alterado durante a purificação, dependendo dos gases que estão sendo processados.
Melhorias no tempo de atividade, como limpeza mecânica da entrada, lavagem com N2 Venturi e entradas de gás de escape aquecidas para WF6, BCl3, AlCl3 e NH4Cl são possíveis, garantindo tempo de atividade de mais de 99%. Além disso, a manutenção é rápida e fácil.
Uma versão à prova de explosão para altos fluxos de exaustão de H2 também está disponível.
Depurador úmido central CT-W (extremidade do tubo)
Para tratamento de gases de alto volume de vazão
- Eficiente
- Manutenção fácil
- Configurações personalizáveis
Vantagens do CT-W (extremidade do tubo)
O purificador úmido CT-W é um purificador central de extremidade de tubo com eficiência de limpeza muito alta para gases solúveis em água, incluindo NH3, HCl, HF, metanol e etanol. Projetado para altos fluxos de gás, ele contém vários bocais de contrafluxo de alta pressão para a limpeza e separação eficazes da menor matéria particulada. O purificador pode ser personalizado e adaptado ao seu processo. É possível usar agentes neutralizantes ácidos e alcalinos, e configurações individuais do equipamento estão disponíveis dependendo do volume de vazão e dos tipos de gás.