Intuitif
Grand écran tactile couleur orientable, valise d’outillage intégrée et espace de stockage
Haute performance
Démarrage rapide, vitesse de pompage élevée, parfaitement adapté aux applications exigeantes en environnements propres
Modulable
Conception compacte et ergonomique, accès facile à toutes les plages de régulation
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Automobile et transport
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Détection de fuite et test EOL
Batterie
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Détection de fuite et test EOL (maître)
Industrie chimique
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Détection de fuites
Affichage
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Sas de chargement
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Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
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Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Économie d’hydrogène
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Détection de fuite et test EOL (maître)
Médical
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Test de fuite des dispositifs médicaux
Industrie pharmaceutique et biotechnologique
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Détection de fuites
R&D
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Physique à haute énergie
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Détection de fuites
Réfrigération et climatisation
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Détection de fuite et test EOL
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Applications à haut flux
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Décapage/Cendrage
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Cobalt, WCVD, TiN et TDMAT
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
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Recuit
Gaz techniques
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Condensation
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Isolation sous vide
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Transport des gaz
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Mise en bouteille
Revêtement à couche mince
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Revêtement de laboratoire