Sécurisé
Chimiosorption permanente avec conception d’absorbeur brevetée
Efficace
Faible consommation de fluide, durée de vie optimisée des granulats
Sans maintenance
Maintenance extrêmement réduite grâce à l’absence de pièces mobiles
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Industrie chimique
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Vide de laboratoire
Médical
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Vide de laboratoire
Industrie pharmaceutique et biotechnologique
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Vide de laboratoire
R&D
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Recherche en photonique
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Vide centralisé
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Vide de laboratoire
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Décapage/Cendrage
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PVD
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Si Poly etch
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Implantation ionique
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PECVD
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
Accessoires
- Capteur électrochimique
- Réservoir de rechange
- Réservoir de dérivation de rechange