Modulable
Conception personnalisable pour répondre aux exigences spécifiques du procédé
Facilité d'entretien
Accès pour l’entretien uniquement par la face avant, démontage en moins d’une minute, faible coût total de possession grâce au nombre réduit de pièces d’usure
Efficace
Système de traitement des gaz usés chauffé électriquement avec épurateur humide intégré, augmentant la température de combustion par injection d’hydrogène pour détruire les PFC et autres gaz
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Semi-conducteur
-
LPCVD / Diffusion
-
PECVD
-
Attaque à l’oxyde
Accessoires
- Enveloppe chauffante
- Chauffage N₂ pour l’aspiration des gaz usés
- Kit de ventilateur pour gaz d’échappement