A 124-1204 H
Pompes à vide roots multi-étagé
Haute performance
Pompe sèche et économe en énergie, spécialement conçu pour les applications de semi-conducteurs et de revêtements
Modulable
Paramètres réglables pour répondre aux exigences de chaque procédé
Certifié
Certifié SEMI S2 et UL 61010
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Laiterie
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Production de fromage – Chambres sous vide pour fromage
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Production de fromage – Tours à fromage
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Production de beurre
Affichage
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Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Décapage/Cendrage
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
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Recuit
Revêtement à couche mince
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Revêtement de laboratoire