A 124-1204 H
Pompe per vuoto roots multistadio
Prestazioni elevate
A secco ed efficiente a livello energetico, progettato specificamente per applicazioni di semiconduttori e rivestimenti
Flessibilità
Impostazioni regolabili per soddisfare i requisiti del singolo processo
Con certificazione
Certificato SEMI S2 e UL 61010
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Latticini
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Produzione di formaggio - Camere per vuoto per formaggio
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Produzione di formaggio - torri di formaggio
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Produzione di burro
Display
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Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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Strippaggio/incenerimento
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PVD
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Ispezione e metrologia
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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Impianto ionico
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PECVD
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Blocco carico e trasferimento
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ALD
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Ricottura
Rivestimento a film sottile
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Rivestimento in laboratorio