A 204-1804 H/X
Pompes à vide roots multi-étagé
Modulable
Paramètres réglables pour répondre aux exigences de chaque procédé
Robuste
Gestion avancée de la température, matériaux résistants à la corrosion et protection contre l’usure prématurée ainsi que la condensation
Efficace
Pompe sèche et économe en énergie
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Laiterie
-
Production de fromage – Chambres sous vide pour fromage
-
Production de fromage – Tours à fromage
-
Production de beurre
Affichage
-
Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Semi-conducteur
-
LPCVD / Diffusion
-
Décapage/Cendrage
-
PVD
-
Si Poly etch
-
Dépôt léger
-
PECVD
-
Lithographie
-
Métal et gravure haute K
-
Attaque à l’oxyde
-
Sas de chargement et transfert
-
Cobalt, WCVD, TiN et TDMAT
-
Dépôt en couches atomiques (ALD)
-
Recuit
Solaire
-
Fabrication de cellules
Revêtement à couche mince
-
Revêtement de laboratoire