A 204-1804 H/X
Pompe per vuoto roots multistadio
Flessibilità
Impostazioni regolabili per soddisfare i requisiti del singolo processo
Robustezza
Gestione avanzata della temperatura, materiale resistente alla corrosione, protezione dall'usura prematura e dalla condensa
Efficienza
A secco ed efficiente a livello energetico
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Latticini
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Produzione di formaggio - Camere per vuoto per formaggio
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Produzione di formaggio - torri di formaggio
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Produzione di burro
Display
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Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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Strippaggio/incenerimento
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PVD
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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PECVD
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Litografia
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Blocco carico e trasferimento
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Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
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ALD
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Ricottura
Solare
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Produzione di celle
Rivestimento a film sottile
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Rivestimento in laboratorio