A 3004
Pompes à vide roots multi-étagé
Robuste
Conception spéciale pour les procédés exigeants, avec haute tolérance aux particules et excellente résistance à la corrosion
Fiable
Longue durée de vie
Haute performance
Meilleur taux de compression de sa catégorie et consommation électrique la plus faible du marché
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Décapage/Cendrage
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Cobalt, WCVD, TiN et TDMAT
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
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Recuit
Solaire
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Fabrication de cellules