A 3004
Pompe per vuoto roots multistadio
Robustezza
Progettazione specifica per processi molto gravosi, alta tolleranza alle particelle, eccellente resistenza alla corrosione
Affidabilità
Ciclo di vita esteso
Prestazioni elevate
Il miglior rapporto di compressione della categoria, il più basso consumo energetico sul mercato
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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Strippaggio/incenerimento
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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PECVD
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Litografia
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
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ALD
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Ricottura
Solare
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Produzione di celle