A 804-1804 XN
Pompes à vide roots multi-étagé
Robuste
Parfaitement adapté aux procédés exigeants des semi-conducteurs, avec revêtement en nickel pour une meilleure résistance à la corrosion et options de conception pour gérer la génération de sous-produits
Fiable
Longue durée de vie
Efficace
Moteurs haute efficacité, usage limité des radiateurs électriques, solution économique
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Laiterie
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Production de fromage – Chambres sous vide pour fromage
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Production de fromage – Tours à fromage
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Production de beurre
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Décapage/Cendrage
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PVD
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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PECVD
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Recuit