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Svizzera

A 804-1804 XN

Pompe per vuoto roots multistadio

Robustezza

Ideale per processi gravosi su semiconduttori, rivestimento in nichel per una maggiore resistenza alla corrosione, opzioni di progettazione per gestire la generazione di sottoprodotti

Affidabilità

Ciclo di vita esteso

Efficienza

Motori ad alta efficienza, utilizzo limitato di riscaldatori elettrici, economicità

Specifiche tecniche

Settori e applicazioni

Latticini
  • Produzione di formaggio - Camere per vuoto per formaggio
  • Produzione di formaggio - torri di formaggio
  • Produzione di burro
Semiconduttore
  • LPCVD/diffusione
  • Strippaggio/incenerimento
  • PVD
  • Etching di Si policristallino
  • Deposizione leggera
  • PECVD
  • Etching di metallo e dielettrici high K
  • Mordenzatura con ossido
  • Ricottura